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超纯氦气,He
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纯度:99.9999%,杂质含量(ppm):N2≤0.5,O2≤0.5,Ar≤0.5,CO≤0.1,CO2≤0.1,THC≤0.1,H2O≤0.2.纯度:99.999%,杂质含量(ppm):Ne≤4.0,H2≤1.0,O2≤1.0,N2≤2.0,CO≤0.5,CO2≤0.5,CH4≤0.5,H2O≤3.0.)
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