***,SiH4
纯度：99.999%，杂质含量(ppm)：O2≤0.5,N2≤0.5,CO≤0.05,CO2≤0.05,CH4≤0.04,H2O≤0.5,Ar≤0.1,H2≤50。纯度：99.9999%，杂质含量(ppm)：H2≤20,N2≤0.5,O2+Ar≤0.5,CO≤0.05,CO2≤0.05,CH4≤0.04。)
主营：高纯六氟化硫、高纯四氟化碳、高纯氩气、高纯氮气、高纯氧气、高纯氢气、高纯二氧化碳，高纯氖气、高纯氪气、高纯氙气
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