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纯度:99.999%,杂质含量(ppm):O2≤2.0,H2≤1.0,N2≤5.0,CH4≤2.0,H2O≤4.0。纯度:99.9999%,杂质含量(ppm):N2≤0.3,O2≤0.1,CO≤0.1,CO2≤0.1,THC≤0.1,H2≤0.1。)
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