回转CVD设备 BTF-1200C-V-R-280
一、设备特点:1、本设备提供一个五温区的超长温场,五个温区可***控制2、保温材料采用氧化铝纤维防尘处理,上下可电动开启。3、流量计和加热采用模块化设计,便于维护***。4、加热元件采用康泰尔掺钼合金电阻丝,***高使用温度可以达到1200度,使用寿命长,温场流场均匀。5、采用触摸屏和工控电脑自动控制,参数设置和操作直观方便,参数自动记录保持。6、设备集成化设计、以及集成化管理,美观方便。设备组成:加热系统,炉管转动系统,螺旋送料系统、供气系统、真空系统、工控及操作系统。1、加热系统:该加热系统的加热腔体采用氧化铝纤维制品,其极低的热导率和比热容,保证了炉膛的快速升温和低蓄热,特别适合于科研温,电力调制器控制;负载采用小电压大电流控制,从而大大提高了发热元件的寿命,测温元件采用K型热偶。采用单回路温控仪能够自整定PID参数,无须操作人单位的材料工艺研究。加热元件选用电阻丝加热,适合中低温度加热系统。高温真空电阻炉温度控制系统采用经典的闭环负反馈控制系统,控温仪表选用智能型程序温度调节仪表控员的干预,可自行根据不同温度曲线的升、降温要求调整输出信号,同时系统设置了超温、欠温、断偶报警保护功能,大大降低了对操作人员经验的要求。2、炉管转动系统:炉管转动系统可以让炉管360°匀速转动,转速在0-60r/min连续可调,且能在60r/min转速下长时间运行。管内壁有石英挡片帮助粉料翻转有助于烧结得更均匀。3、螺旋送料器:先将样品储存于样品罐中,通过螺旋送料器将样品送入石英管内。样品送完之后送料杆退回到原始位置。周而复始,达到自动送料。4、供气系统:供气系统是一种可控制三种气体按不同流量进行混合配比,也可根据实验需求加装洗气装置,质量流量计安装于密封的可移动机柜内,由超洁双抛不锈钢管与精密双卡套接头连接组成,触摸屏控制。5、真空系统:真空机组,内部安装BSV-60机械泵1台,电阻真空计1套,并含有配套使用的波纹管,手动挡板阀,卡箍等连接部件。三、加热主体设备技术参数:腔体尺寸外径Φ280,Φ300,Φ400,Φ500,Φ600尺寸可选(中间异型区域尺寸)炉膛保温材料氧化铝纤维表面温度≤60℃加热元件进口KTL电阻丝加热区数量5区,每个温度***控制,使温场均匀性更好加热区长度300+300+300+300+300mm恒温区长度真空条件两端加氧化铝管堵的情况下,两个温区设定同一温度是恒温区可达1200mm***高温度1200℃建议长时间使用温度<1100℃控温精度&plu***n;1℃升温速率0-20℃/min,建议升温速率10℃/min设备功率28KW设备工作电源380V/50HZ热电偶型号K型控制器可编程控温仪表,PID调节,升、降保温全自动控温方式人机界面加PLC控制,10寸液晶屏控制,数字工控仪表双控,采用工业智能控温仪表和软件实现双控,采用模糊型PID控制无纸记录内置存储记录运行工艺数据,外接USB接口,可以电脑连接一键拷贝数据结构描述设备可对半电动开启,加快冷却速度、表面温度低于60℃转动密封收集系统炉管一端配有不锈钢密封可转动水冷法兰、螺旋送料装置四、3路供气系统参数连接头类型双卡套不锈钢接头标准量程(N2)500sccm、1000sccm、2000sccm(量程型号根据要求定制)***da压力3MPa接口Φ6显示液晶屏显示工作环境温度5~45高纯气体内外双抛不锈钢管Φ6压力真空表-0.1~0.15MPa,0.01MPa/格截止阀Φ6卡套接头五、真空机组参数:空气相对湿度≤85%工作环境5℃~40℃工作电电压220V&plu***n;10%50~60HZ功率1千瓦抽气速率60m³/h极限真空5X10-1Pa工作压力范围1.01325X105~1.33X10-2Pa耐压值0.03MPa容油量1.1L进气口口径KF40排气口口径KF40连接方式采用波纹管,手动挡板阀与波纹管相连电阻真空计参数:配用规管:ZJ-52T电阻规,测量范围:105~10-1Pa,测量路数:1路控制范围:5×103~5×10-1Pa,控制方式:继电器触点输出,负载能力AC220V/3A(或DC28V/3A)无感负载电源:90-260V/50Hz或220V&plu***n;10%50Hz,功耗:20W)
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