双炉膛滑动CVD控制系统 BTF-1200C-II-SL-210
主要特点:1、滑轨式快速升温炉是专为生长石墨烯研制的石墨烯生长专用炉,也同样适用于要求升降温速度比较快的CVD实验。2、这款设备操作时可将实验需要的恒定高温直接推到样品处,使样品能得到一个快速的升温速度,同样也可将高温的管式炉直接推离样品处,使样品直接暴露在室温环境下,得到快速的降温速率。3、此款设备提供两个***滑动的温场,两温场***控制,可在实验过程中推进或推离样品,提供两个位置的快升降温。4、真空和设备采用模块化设计,便于维护***。5、采用触摸屏和工控电脑自动控制,参数设置和操作直观方便,参数自动记录保持。TechnicalParameters技术参数Power输入电源·Powerrated:16KW·额定功率:16KWVoltage电压·Voltagerated:AC220-380V50/60HZ·额定电压:AC220-380V50/60HZWorkingTemperature工作温度·Max.Temperature:1200°C(1hr)***高温度:1200℃(1小时)·Continuousworkingtemperature:≤1100℃持续工作温度:≤1100℃·Max.Heating/collingRate:≤20°C/S***大升/降温速率:≤20℃/秒TemperatureController控温方式·PIDautomaticcontrolandauto-tunefunction.触摸屏控制加PLC控制和和模糊PID自整定调节·30programmablesegmentsforprecisethermalprocessing.智能化30段可编程控制·Built-inprotectionfortheover-heatedandbrokenthermocouple.超温和断偶报警功能Lengthofheatingzone加热区长度·500+500mmLengthofc***tantzone恒温区长度·200+200mmHeatingElements加热元件·Resistancewire,Fe-Cr-AlAlloydopedbyMo·电阻丝(掺钼铁铬铝合金)TemperatureAccuracy控温精度+/-1°CProcessingtube炉管·Φ210*2000mm(optional)·Twotubeblocksareincludedforblockingheatradiationgeneratedfromtubecenter,mustbefullyinsertedintothefurnacechamberbeforeheatinginthecorrectposition(quartzorceramicoptional).两个管堵阻挡管中心产生的热辐射,必须在加热前塞进炉膛的正确位置(石英货氧化铝管堵可选)Dimensi***尺寸·Furnacesize:2700*1500*1650mm(L*W*Hwithouttube&flange)·炉子尺寸:2700*1500*1650mm(长*宽*高不含炉管和法兰)NetWeight净重580kgVacuumFlange真空法兰·KF25/16quickclampflange两端为KF25/16快速卡箍法兰VacuumPressure真空压力·133torrcanbeachievedbymechanicalpump机械泵可达133torr(1pa)·10^-6torrcanbereachedbymolecularpump分子泵可达10^-6torr(10^-3pa))