设备描述：此款CVD系统前端配有可加热到400℃的预加热器，辅助二维材料蒸发，后端为双温区管式炉，温度控制***，操作简便。并配质量流量计系统和真空系统，可以准确的反应腔体内部的气体压力和气体流量，对于做低压CVD实验非常实用，重复性好。硫粉预热器：工作温度：400℃***高温度：1200℃***快升温速率：≤30℃/min推荐升温速率：10℃/min控温方式：智能化30段可编程控制工作电压：AC220V额定功率：800W控温精度：&plu***n;1℃加热元件：电阻丝加热区参数：额定功率：5kw***高温度：1200℃工作温度：1100℃***大升降温速率：≤30℃/min炉管尺寸：高纯度石英管Φ25\Φ50\Φ60\Φ80\Φ100X1650mm(管径可选)加热区长度：200+200mm恒温区长度：290mm控温方式：模糊PID控制和自整定调节，智能化30段可编程控制，具有超温和断偶报警功能。标准配件：石英管1支，莫来石管堵2对，不锈钢法兰1套，硅胶密封圈2套，高温手套1副，坩埚钩1支；尺寸：约550×380×600mm（炉子）约：1700×380×620mm（炉子+滑轨）可选配单温区、双温区、三温区等加热区。气路系统参数：质量流量计参考量程（N2)：100sccm、200sccm、500sccm（量程可选）准确度：&plu***n;1.5%线性：&plu***n;0.5～1.5%重复精度：&plu***n;0.2%响应时间：气特性：1～4Sec，电特性：10Sec工作压差范围：0.1～0.5MPa***大压力：3MPa接口：Φ6,1/4''显示：4位数字显示工作环境温度:5~45高纯气体内外双抛不锈钢管：Φ6压力真空表：－0.1～0.15MPa,0.01MPa/格截止阀：Φ6连接头类型：双卡套不锈钢接头。可选配一路、两路、三路、四路等以上质量流量计。低真空系统参数：国产油泵型号：BSV-10抽速：10m³/h极限真空度：5*10-1pa电源：220v50hz电机功率：0.4kw进排气连接口：KF25用油量：1.1L电机转速：1440rpm工作环境温度：5-40℃噪音：≤56db电阻真空计参数：1.配用规管：ZJ-52T电阻规，2.测量范围：105～10-1Pa，3.测量路数：1路4.控制范围：5×103～5×10-1Pa，5.控制方式：继电器触点输出，负载能力AC220V/3A(或DC28V/3A)无感负载，6.电源：90-260V/50Hz或220V&plu***n;10%50Hz，7.功耗：20W使用注意事项炉管内气压不可高于0.02MPa。当炉体温度高于1000℃时，炉管内不可处于真空状态，炉管内的气压需和大气压相当，保持在常压状态进入炉管的气体流量需小于200SCCM，以避免冷的大气流对加热石英管的冲击。石英管的长时间使用温度＜1100℃。对于样品加热的实验，不建议关闭炉管法兰端的抽气阀和进气阀使用。若需要关闭气阀对样品加热，则需时刻关注压力表的示数，若气压表示数大于0.02MPa，必须立刻打开泄气阀，以防意外发生（如炉管***，法兰飞出等）。)