产品简介：本设备主要针对实验石墨烯生长和制备使用，同时该设备可以用于碳纳米管的生长。可制备出高质量的透明导电膜,用作手机触摸屏,平板电脑,智能穿戴,传感器等领域。PECVD高温真空炉加热腔体采用氧化铝纤维制品，其极低的热导率和比热容，保证了炉膛的快速升温和低蓄热，特别适合于科研单位的材料工艺研究。加热元件选用电阻丝加热，有利于炉内温度场的均匀分布。高温真空电阻炉温度控制系统采用经典的闭环负反馈控制系统，控温仪表选用智能型程序温度调节仪表控温，电力调制器控制；负载采用小电压大电流控制，从而大大提高了发热元件的寿命，测温元件采用K型热偶。采用单回路温控仪能够自整定PID参数，无须操作人员的干预，可自行根据不同温度曲线的升、降温要求调整输出信号，同时系统设置了超温、欠温、断偶报警保护功能，大大降低了对操作人员经验的要求，关键电气元件采用优质的进口产品，做到高性能、免维护，提高了设备质量的可靠性。***高温度1200℃使用温度≤1100℃炉膛有效尺寸Φ50/φ100mm（炉管直径可根据实际需要定制。）炉膛材料氧化铝、高温纤维制品热电偶类型K型热电偶控温精度&plu***n;1℃控温方式30段可编程控温，PID参数自整定，操作界面为7/10寸工控电脑，内置PLC控制程序。加热长度230mm/440mm恒温长度100mm/200mm加热原件电阻丝供电电源单相，220V，50Hz2、PE射频电源功率输出范围0W~150/500W***大反射功率100W射频输出接口50Ω,N-type,female功率稳定度≤5W谐波分量≤-50dbc供电电压单相交流（187V-253V）频率50/60HZ整机效率>=70%功率因素>=90%冷却方式强制风冷3、三路质子流量控制系统连接头类型双卡套不锈钢接头标准量程（N2)50sccm，100sccm、500sccm（可根据用户要求定制）准确度&plu***n;1.5%F.S线性&plu***n;1%F.S重复精度&plu***n;0.2%F.S响应时间气特性：1～4Sec，电特性：10Sec工作压差范围0.1～0.5MPa***大压力3MPa接口Φ6,1/4''显示4位数字显示工作环境温度5~45高纯气体压力真空表－0.1～0.15MPa,0.01MPa/格截止阀Φ6内外双抛不锈钢管Φ64、低真空机组空气相对湿度≤85%工作环境5℃～40℃工作电电压220V&plu***n;10%50~60HZ功率1KW抽气速率10m³/h极限真空5X10-1Pa工作压力范围1.01325X105～1.33X10-2Pa耐压值0.03MPa容油量1.1L进气口口径KF25排气口口径KF25噪音50dB连接方式采用波纹管，手动挡板阀与波纹管相连)