主要特点该设备具有性能稳定、性价比高、操作简便、使用成本极低、易于维护的特点。对各种几何形状、表面粗糙程度各异的金属、陶瓷、玻璃、硅片、塑料等物件表面进行超清洗和改性。完全彻底地清除样品表面的有机污染物。定时处理、快速处理、清洗效率高。绿色环保、不使用化学溶剂、对样品和环境无二次污染。在常温条件下进行超清洗，对样品非***性处理。技术参数反应舱规格Φ350*L600mm(石英材质)反映舱有效容积54L密封法兰可视化观察窗折页开门结构输入电源220V/50Hz整机输入功率500W射频功率0-500W（连续可调）射频频率13.56MHz常用工作气体空气、***气、氮气或混合气体等进气口Φ6双卡套接口整机规格长*宽*高：800*400*1050mm整机重量150KG)