紫外臭氧清洗机
紫外臭氧清洗机(UVO),是一种简单,经济,快速***的材料表面清洗设备,能快速去除大多数无机基材(比如石英,硅片,金,镍,铝,***化***,氧化铝等)上的有机污染物。CIF紫外臭氧清洗机采用长寿命UV石英低压***蒸汽格栅灯,样品台高度可调并可选加热控温,以便达到***佳清洗效果。产品特点u编程数字控制器,设置操作简单方便,四键操作控制。数字倒计时显示清洗时间,1-999分钟之间可自行设置清洗时间。任何时间可以手动中断处理过程。自动记录之前清洗参数设置。样品台可控温(可选),控温范围RT-260℃,控温精度0.1℃。上置式样品台设计,360度自由放置样品,操作方便。样品台高度可调,通过调节灯与样品之间的间距,可以合理***样品高度和位置,位置可锁定。UV石英低压***蒸汽格栅灯,灯管寿命大约为8000小时。高强度UV灯源,波长185nm和254nm。UV反射罩(长X宽)比UV格栅灯大2.5cm,比如规格为13x13cm格栅灯反射罩尺寸大于15×15cm。双重安全保护,当清洗腔打开时,系统安全锁会关掉UV灯,并有灯光通断提示。带进&出气口双气路设计,可接入氧气,增加臭氧产量。可选臭氧中和器,用于臭氧清除。可根据客户要求定制铝或石英材料真空反应腔。技术参数产品型号UV灯尺寸cm样品台高度cm主机重量kg外型尺寸(LxWxH)cmUVO5/UVO5P/UVO5T13x1310cm内可调631x26x20UVO9/UVO9P/UVO9T23x2310cm内可调12.560x50x20注:UVO型基础型样品台不带加热功能,样品台高度不可调;UVOP可选配样品台加热功能,样品台高度可调;UVOT标配样品台加热功能,样品台高度可调。)
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