电子束蒸发镀膜机产品介绍想要了解更多电子束产品的相关内容，请及时关注沈阳鹏程真空技术有限责任公司网站。产品配置：★样片数量及尺寸：1片Φ8英寸或5片Φ4英寸或伞形工件架（用户定制）★蒸发材料：金属；非金属；化合物等薄膜材料。★蒸发腔体：高真空系统。★蒸发不均匀性：≤±3%-±5％★工件架：可旋转，转速可调★加热：常规加热★电子枪：E型，带XY偏转扫描★电子枪坩埚：6穴，17cc★膜厚监控功能：石英晶控膜厚在线监测与终点控制★清洗功能：可选配离子源清洗★器件一次成型复合实验系统：通过复合mask系统与样品对准系统，一次完成器件的多个工艺步骤★检测与控制光学特性的功能：可选配光控仪★操作模式：全自动半自动控制电子束蒸发镀膜机技术特点介绍采用了超高真空密封技术，极限真空度高，蒸发室可进入10-5Pa量级（≤5×10-5Pa电子枪静止状态），可保证更高的镀膜纯净度，提高镀膜质量。超高真空密封主要采用如下技术：玻璃金属焊接技术、陶瓷金属焊接技术、刀口无氧铜金属密封技术等，整机主要采用金属密封技术，前开门用氟胶圈，真空管路用不锈钢金属波纹管路（不用橡胶管路），采用高真空阀门。沈阳鹏程真空技术有限责任公司以诚信为首,服务至上为宗旨。公司生产、销售电子束产品,公司拥有强大的销售团队和经营理念。想要了解更多信息，赶快拨打图片上的***电话！)