电子束蒸发镀膜机产品介绍想要了解更多电子束产品的相关内容，请及时关注沈阳鹏程真空技术有限责任公司网站。产品配置：★样片数量及尺寸：1片Φ8英寸或5片Φ4英寸或伞形工件架（用户定制）★蒸发材料：金属；非金属；化合物等薄膜材料。★蒸发腔体：高真空系统。★蒸发不均匀性：≤±3%-±5％★工件架：可旋转，转速可调★加热：常规加热★电子枪：E型，带XY偏转扫描★电子枪坩埚：6穴，17cc★膜厚监控功能：石英晶控膜厚在线监测与终点控制★清洗功能：可选配离子源清洗★器件一次成型复合实验系统：通过复合mask系统与样品对准系统，一次完成器件的多个工艺步骤★检测与控制光学特性的功能：可选配光控仪★操作模式：全自动半自动控制电子束蒸镀系统的特点**涡轮分子泵，串接机械泵或干泵**pocket电子枪**电子束源和基片遮板**高性能的开关电源，杰出的消弧性能**自动Pocket索引以及可编程的扫描控制器**膜厚监测，可设置目标膜厚作为工艺终点条件**旋转样品台，提供高均匀性**带观察视窗的腔门，便于放片/取片**PC全自动控制，具有高度的可重复性**Labview软件的计算机全自动工艺控制控**多级密码保护的***访问设计**EMO保护以及完全的安全联锁以上就是为大家介绍的全部内容，希望对大家有所帮助。如果您想要了解更多电子束的知识，欢迎拨打图片上的***联系我们。)