技术参数真空腔室Φ100*120mm石英坩埚尺寸Φ90*110***大可放坩埚直径Φ90极限真空10-2Pa抽气时间≤20min使用温度80-600°C功率1KW开启方式手动打开上盖内胆材质石英搅拌机材质不锈钢聚四氟组合)