回转PECVD BTF-1200C-R-PECVD
主要特点本款设备可以做金属复合石墨烯材料,是目前******的金属复合材料制备设备。可以用于动力电池,提升电池内阻和能量密度,有效解决新能源汽车电池的问题。1.该设备炉管可360度旋转,管内壁有石英挡片帮助粉料翻转有助于烧结得更均匀;2.可左右大角度倾斜,方便出放料,倾斜角度在0~35°之间。3.该款设备是全自动Pla***a增强CVD系统(PECVD),连续可控温度以及Pla***a强度等,配备真空系统,可以实现低压条件下的实验,针对低温石墨烯、碳纳米管生长等。PECVD系统能使整个实验腔体都处于辉光产生区,辉光均匀等效,这种技术很好的解决了传统等离子工作不稳定状态,这样离子化的范围和强度是传统PECVD的百倍,并解决了物料不均匀堆积现象。技术参数型号BTF-1200C-R-PECVD显示模式7"液晶触屏显示***高温度1100℃升温速率10℃/S控温精度&plu***n;1℃加热元件电阻丝热电偶K型控温方式7"液晶触屏与工控仪表双重控温,模糊PID控制和自整定调节,人工智能化30段可编程控制,具有超温和断偶报警功能。炉管尺寸Φ60*420*2+Φ100*360mm炉管转速3~13r/min倾斜角度0~35°加热功率3KW射频功率输出范围0~500W供气系统标配三路质量流量计(50/100/200sccm)(量程可选)供电电源220V50Hz通讯接口USB外形尺寸1600mm*650mm*1400mm设备净重约220KG)