设备简介：该设备为我司研发用于石墨烯薄膜连续生长或者线性材料的连续的专用设备，此款设备是快速冷却卷对卷等离子体增强CVD连续生长炉，它由高温生长腔体，三路质量流量计气路系统，真空机组，RF射频电源模块，石英管，冷却装置，收放卷的密封装置，自动化控制系统组成，两端分别安装有进料进气真空腔室和出料排气真空腔室，收放密封装置内分别对应安装有放卷滚轮和收卷滚轮，所输出料排气腔体与炉体之间安装有冷却装置。相对于现有技术具有快速冷却、连续生长的优点，可以进行大面积、高质量石墨烯的规1.加热系统***高温度1200℃使用温度≤1100℃炉膛有效尺寸Φ80mm（适用于2-3英寸样品，炉管直径可根据实际需要定制。）炉膛材料氧化铝、高温纤维制品热电偶类型K型热电偶控温精度&plu***n;1℃控温方式30段可编程控温，PID参数自整定，操作界面为7”工控电脑，内置PLC控制程序。加热长度200+200+200mm加热原件电阻丝供电电源单相，220V，50Hz2、PE系统功率输出范围0W~500W***大反射功率100W射频输出接口50Ω,N-type,female功率稳定度≤5W谐波分量≤-50dbc供电电压单相交流（187V-253V）频率50/60HZ整机效率>=70%功率因素>=90%冷却方式强制风冷3、三路质子流量控制系统连接头类型双卡套不锈钢接头标准量程（N2)200sccm，500sccm、1000sccm（可根据用户要求定制）准确度&plu***n;1.5%F.S线性&plu***n;1%F.S重复精度&plu***n;0.2%F.S响应时间气特性：1～4Sec，电特性：10Sec工作压差范围0.1～0.5MPa***大压力3MPa接口Φ6,1/4''显示4位数字显示工作环境温度5~45高纯气体压力真空表－0.1～0.15MPa,0.01MPa/格截止阀Φ6内外双抛不锈钢管Φ64、低真空机组空气相对湿度≤85%工作环境5℃～40℃工作电电压220V&plu***n;10%50~60HZ功率1KW抽气速率10m³/h极限真空5X10-1Pa工作压力范围1.01325X105～1.33X10-2Pa耐压值0.03MPa容油量1.1L进气口口径KF25排气口口径KF25噪音50dB连接方式采用波纹管，手动挡板阀与波纹管相连)