GWST-1000型高温四探针综合测试系统(包含薄膜,块体功能)
GWST-1000型高温四探针综合测试系统(包含薄膜,块体功能)关键词:四探针,电GWST-1000型高温四探针综合测试系统(包含薄膜,块体功能)是为了更方便的研究在高温条件下的半导体的导电性能,该系统可以完全实现在高温、真空及惰性气氛条件下测量硅、锗单晶(棒料、晶片)电阻率和外延层、扩散层和离子层的方块电阻及测量其他方块电阻。该系统广泛应用于高等院校和科研院所,是科研的重要设备。二、符合:1、符合GB/T1551-2009《硅单晶电阻率测定方法》、2、符合GB/T1552-1995《硅、锗单晶电阻率测定直流四探针法》3、符合美国A.S.T.M标准二、产品应用:1、测试硅类半导体、金属、导电塑料类等硬质材料的电阻率/方阻;2、可测柔性材料导电薄膜电阻率/方阻3、金属涂层或薄膜、陶瓷或玻璃等基底上导电膜(ITO膜)电阻率/方阻4、纳米涂层等半导体材料的电阻率/方阻5、电阻器体电阻、金属导体的低、中值电阻以及开关类接触电阻进行测量6、可测试电池极片等箔上涂层电阻率方阻三、主要技术参数温度范围:RT-1000℃升温斜率:0-10℃/min(典型值:3℃/min)控温精度:&plu***n;0.1℃电阻测量范围:0.1mΩ~1MΩ电阻率测量范围:100nΩ..cm~100KΩ.cm测量环境:惰性气氛、还原气氛、真空气氛测量方法:四线电阻法,探针法测试通道:单通道或是双通道样品尺寸:10mmx10mmX20mm或φ<20mm,d<5mm电极材料:铂铱合金电极(耐高温,***化)绝缘材料:99氧化铝陶瓷数据存储格式:自动分析数据,可以分类保存,样品和测量方案结合在一起,生成系统所需的实验方案,输出TXT、XLS、BMP等格式文件数据传输:USB符合标准:ASTM供电:220V&plu***n;10%,50Hz工作温度:5℃至+40℃;工作湿度:+40℃时,相对湿度高达95%(无冷凝)设备尺寸:L360mm*W370mm*H510mm重量:22kg)
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