MALEMA流量控制器LFC-7000是一款超声波液体流量控制器，这款高性能闭环流量控制器设计用于各种液体，包括去离子水、刺激性***和CMP抛光浆料。LFC-7000流量控制器采用无移动部件的超声波流量计模块提供“正常运行时间”（含夹管更换周期为3年或更长时间的浆料模块）。性能特点高精度，将流量控制在设定值的±1%以内快速响应3秒2种类型的控制阀应用范围广广泛的流量控制能力全PTFE/PFA润湿部件结构-确保与高压液体***、去离子水和CMP浆料兼容（浆料模块配有铂固化硅胶管）技术参数产地：美国标准满量程范围：50、100、250、500、1000、1500、2500、4000、8000、12000mL/min精度：（室温DIW）：设定点的±1%或±3mL/min（以较大者为准）重复性：设定值的±1%或±1mL/min（以较大者为准）控制重复性：±设定点的0.5%或±0.5mL/min（以较大者为准）流量控制时间：<3秒流体温度：10℃-60℃环境温度：0-40℃环境湿度：30-80%RH，不结露预期工作压力Max：50磅/平方英寸内部压力Max：70磅/平方英寸压差范围：7至30psid非接液部件外壳材料：PPS、PEEK、亚克力、乙烯基、PVC接液部件材料：PFA、PTFE、铂固化有机硅阻燃：FMET4325安装方向：水平或垂直流体连接：入口/出口：1/4或3/8，扩口或柱形流量限制（孔口）：>2mm入口防护等级：IP64电源输入：24V±10%电流消耗Max：0.5A控制信号输入：0至10V或4至20mA流量信号输出：0至10V或4至20mA)