TPSS产品具有高纯度、高强度和高耐腐蚀性等多种特性，TPSS是一种导电材料，不易产生静电。适用于半导体热处理炉的炉芯管、热平衡管、舟和叉。此外，还提供采用CVD方法在产品表面镀上一层超纯致密碳化硅膜的产品，以满足用户的各种需求。性能特点高纯度、高强度高耐腐蚀性均匀加热耐热震性***化性技术参数产地：日本比热（室温，J/gK）：0.69线膨胀系数（×10-6/K）：4.3（室温～1000℃）导热系数（室温，W/mK）：175耐热震温度（△T、℃）：400表层材质：CDV碳化硅膜体积电阻率（Ω厘米）：10-1按等级进行化学分析：TPSS-UFe2.5Al0.5Na0.2K0.2Ca0.7Cu<0.01Cr0.1Ni0.3表层材料热膨胀系数：碳化硅4.3石英玻璃0.5氮化硅3.5硅3.9硝酸和***的混合酸溶液：不会被腐蚀)