退火炉是在半导体器件制造中使用的一种工艺，其包括加热多个半导体晶片以影响其电性能。热处理是针对不同的效果而设计的。可以加热晶片以掺杂剂，将薄膜转换成薄膜或将薄膜转换成晶片衬底界面，使致密沉积的薄膜，改变生长的薄膜的状态，修复注入的损伤，移动掺杂剂或将掺杂剂从一个薄膜转移到另一个薄膜或从薄膜进入晶圆衬底。退火炉可以集成到其他炉子处理步骤中，例如氧化，或者可以自己处理。退火炉是由专门为加热半导体晶片而设计的设备完成的。退火炉是节能型周期式作业炉，超节能结构，采用纤维结构，节电60%。1.氮气是稀有气体，维护特性好，可让含氧量小于200PPM，但费气（总流量大）。2.氢气或苯甲酸气本身在高溫下不但能根据放热反应耗费co2产生无氧运动电焊焊接氛围，且能根据还原反应使被空气氧化的不锈钢钝化修复，兼具清理***。可让含氧量小于50PPM。3.一般气体和氮气自然环境的回流焊炉，电焊焊接后钢件必须清理以除去助焊液、沉渣和化合物，而氢气回流焊炉则无须；4.电焊焊接面汽泡/裂缝率，气体回流焊炉超过15%~25%，氮气回流焊炉为5%~15%，氢气能够到5%下列。看得见氢气回流焊炉是。5.氢气或苯甲酸气本身在高溫下不但能根据放热反应耗费co2产生无氧运动电焊焊接氛围，且能根据还原反应使被空气氧化的不锈钢钝隧道式烘箱是在吸收国外***干燥灭菌技术的基础上自行开发的干燥灭菌机，它能将物料通过隧道式输送，有效利用干燥间空，适合各种形状物料的干燥。整个设备分为若干温湿度底段，物料在整个干燥区间处于干燥水平，上下交替，包括热风循环式和远红外式。采用微机系统监测，用输送带输送瓶瓶依次进入隧道灭菌烘箱预热区、高温灭菌区、低温冷却区。输送机的转速无级可调，温度监测系统无纸或有纸记录。全过程均在百级层流保护下进行。)