XCV系列XCV系列采用Akribis音圈电机，具有以及高频率的特点。适用于中载，高频的应用。适用于亚微级***，取放，力控制。设计特点：A.音圈电机直接驱动直线机械平台B.无嵌齿效应，无背隙C.高重复精度E.适用于短行程，高速高加速应用F.采用交叉滚柱导轨，高刚性G.化动态性能规格参数单位XCV30有效行程1mm4电机型号-***M30-HF-4-C116-0.5持续力N7.27峰值力N46.17分辨率μmABI21:1.0/0.5/0.2AT2:0.2/0.05重复***精度μmABI21:1.0/0.5/0.2:±1AT2:0.2/0.05:±0.5直线度μm±3.0平面度μm±3.0额定负载2kg1.0空载运动质量kg0.072空载总质量kg0.48容许负载kg4.0容许侧倾力矩Nm5.0容许俯仰力矩Nm7.3容许横摆力矩Nm7.1注：1.行程的定义根据防撞块至防撞块，即机械行程。该机台为短行程机台，有效行程即机械行程。2.在此负载下，平台可以提供不少于1G的加速度。)