FS4001系列小流量气体质量流量传感器
供应【***小流量气体传感器FS400150sccm软管直径5.2mm氮气氧气FS4001-500mLFS4001-30mLFS4001-200mlFS4001-1LFS4001-50mLFS4001-100mL成都维克安科技有限公司吴经理15882015767欢迎来电来函详询型号及报价。FS4001***流量传感器:FS4001系列气体质量传感器产品简介:FS4001系列小流量气体质量流量传感器是***为各类小流量气体的测量和过程控制而设计的。这一系列传感器均采用本公司自主研发的微机电系统(MEMS)流量传感芯片来制作,适用于各类清洁气体。***的封装技术使之可用于各类管径,***低、易安装、不需要温度压力补偿,可替代容积式或压差式的传统流量传感器。产品特点:-传感器灵敏度高,有***的始动流量-传感器芯片采用热质量流量计量,无需温度压力补偿,***了传-感器的***计量-在单个芯片上实现了多传感器集成,使传感器的量程比大大提高-传感器的零点稳定度高-全量程高稳定性-全量程高***度和优良的重复性-低功耗-低压损-响应时间快主要参数:性能参数FS4001单位通径1.01.8mm流量30,100,200500,1000SCCM量程比≥100:1精度±(1.5+0.2FS)%重复性0.25%读数零点输出飘移±30mV输出飘移±0.12%/oC响应时间4,8,16,33,65,131mses工作电源8~18Vdc,50mA输出方式线性,RS232/模拟电压0.5~4.5Vdc流量压损350300pa工作压力0.5MPa工作温度-10~+55oC存储温度-20~+65oC工作湿度<95%RH(无结冰、无凝露)机械接口可拆式软管接头校准方式空气(或其他气体),20oC,101.325kPa重量15g)
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