高速、高分辨率的同时，实现稳定的超精密测量。***适合精密载物台、半导体检查、制造装置、超精密加工机等。超过光波干涉仪信号波长138nm的高分辨率标尺不受湿度、气压、空气紊乱影响的高稳定性原点精度：±0.1µm精度：±0.04µm以下（有效长度40mm）完全非接触原理上不会产生返回误差有效长度：40～420mm，9种（-R/-RS）有效长度：10～420毫米，10种（-N/-NS）真空、非磁性对应（特殊规格）使用低膨胀长玻璃：-0.7×10-6/℃（有效长度：10～420mm）分辨率：2.1pm型名BS78有効長：L(mm)10/40/70/120/170/220/270/320/370/420(10はN/NSのみ)スケール全長58mm(有効長10mm：片持ちタイプ)有効長+26mm(有効長40～420mm)可動長有効長＋2mm(有効長10mm：片持ちタイプ)有効長＋10mm(有効長40～420mm)精度(20℃にて)NSタイプ/RSタイプ：±0.03μm（有効長10mm）(NSタイプのみ）±0.04μm（有効長40mm）±0.10μm（有効長70／120mm）±0.18μm（有効長170／220mm）±0.25μm（有効長270mm）±0.34μm（有効長320mm）±0.39μm（有効長370mm）±0.44μm（有効長420mm）Nタイプ、Rタイプ：±0.06μm（有効長10mm）(Nタイプのみ）±0.08μm（有効長40mm）±0.20μm（有効長70／120mm）±0.35μm（有効長170／220mm）±0.50μm（有効長270～370mm）±0.65μm（有効長420mm）格子ピ***チ約0.55μm信号波長約0.138μm（約138nm）原点精度±0.1μm(R/RSタイプのみ)原点位置***および***から左右へ各50mm毎(320、370、420mmの有効長のみ50mm間隔で***より20mmオフセ***ト)原点検出方向片方向温度膨張係数－0.7×10-6/℃光源半導体レーザ波長790nm出力6mW***パワーDHHSクラス1検出方式回折格子走査式使用温度範囲10℃～30℃(結露不可)保存温度範囲－10℃～50℃(湿度60％以下)応答速度400mm/s型名BL50H-SZ＊＊＊＊＊BL50H-SA＊＊＊＊＊スケール材質ZEROガラス0.1×10-6/℃***アルカリガラス3.7×10-6/℃有効長30~570ｍｍ格子ピ***チ1.6μm原点***/有：センター1か所精度（20℃にて）±0.1μm/500mm（インタポレータBD700補正時）、±0.5μm/30mm~120mm、±1μm/170mm~270mm、±1.5μm/320mm~370mm、±3μm/420mm~570mm（特殊仕様で±1.5μm）内挿精度±50pm(インタポレータBD700使用時）ヘ***ドユニ***ト主な仕様(※):インタポレータBD700にてA/B相、各社シリアルインターフェース、アナログ出力に変換レーザスケールは半導体レーザを使用しています。レーザ光は***に***ですので、検出ヘ***ド部をのぞ***込まないようにしてく***さい。記載内容は予告なしに変更する場合があります。型名BL50H-FS＊＊＊DBL50H-FS＊＊＊H出力信号インタポレータBD700接続(※)アナログ1Vp-p信号波長400nm***小分解能6.1pm－応答速度3m/s（特殊対応で5m/s）5m/sクリアランスZEROガラス:3.4±0.2mm***アルカリガラス:3.8±0.2mm角度許容値ヨーイング:±8.7mradピ***チング:±8.7mradローリング:±8.7mradヘ***ドケーブル長1m、3m、6m0.5m、1m、3m使用温度範囲+10℃～+40℃（結露不可）)