来自SCSG3家族的精密旋转涂敷系统用于在平面基板上***的涂敷流体，如光刻胶、聚酰***、金属有机物、掺杂物、和二氧化硅薄膜。G3系列旋转涂敷机设立操作***性和编程灵活性的新标准，提供了高水平的旋转精度和重复性及加速减速控制。特性及规格包括：--Fast,simpleprogrammingbymeansofmicroprocessor-basedcontrol,usingfrontpanelLCDdisplayandkeypad借助微处理器控制，通过前面板LCD及键盘操作实现快速简单的编程--Closedloopservomotorcontrolforprecisespeedregulation闭环伺服电机控制实现***的速度调节--Capacitytoexecuteonerecipewithaccelerationtimeadjustablefrom1-30seconds,spinforpresetspeedandtimeanddecelerationtimeadjustablefrom1-30seconds.可执行涂敷程序的加速调节1-30秒，预设的旋转速度和时间及加速度调节1-30秒--Spinprofilesadjustablein1.0rpmincrements,0.1secondtimingincrements,and1.0secondincrementsfordwelltime,withpreciserepeatabilityfromcycle-to-cycle旋转曲线调整以1rpm为增量，0.1秒时间增量和1秒保持时间增量及***的循环重复性--Customerevaluati***yieldedthicknessuniformityintherangeof+/-3.0%用户评估产出的厚度均匀性在±3%左右--Compacthousingonallsizesforconveniencewhenusingfumehoods紧凑的外壳便于在通风橱柜中使用--ChuckRotationSpeed:0-9,999RPMin1RPMincrements卡盘的旋转速度0-9,999转/分钟，以1转/分钟为增量--Acceleration/Deceleration:0.1to25.5seconds,0.1secondincrements(withinertiallimitati***)加速/减速：0.1-25.5秒，以0.1为增量（惯性限制）--Dwelltime:0-999secondsin1secondincrements保持时间：0-999秒以1秒为增量--UnitDimensi***:30.5cmWx41.9cmDx30.2cmH)