浅析硅片抛光机的两种抛光方式浅析硅片抛光机的两种抛光方式硅片抛光机如何解决这个矛盾的的办法就是把抛光分为两个阶段进行。粗抛目的是去除磨光损伤层，这一阶段应具有抛光速率，粗抛形成的表层损伤是次要的考虑，不过也应当尽可能小；其次是精抛(或称终抛)，其目的是去除粗抛产生的表层损伤，使抛光损伤减到。硅片抛光机不是碾除整体的糠层，是通过碾除细微的糠粉和粗糙表上面突起的淀粉细粒，抛光机抛光和碾白从工作方面比较存在着很大的差别，抛光机抛光压力很低，抛光机抛光米粒的时候流体密度很小，抛光时米粒离开铁辊的速度很快，而且抛光机单位产量抛光运动面积很大。如何检测平面抛光机加工工件的精度如何检测平面抛光机加工工件的精度今天我们来介绍平面抛光机加工工件的精度检验方法，平面抛光机加工的工件，平面的精度检验是确定工件的平面度、平行度、垂直度以及工件的角度检验。1、平面度检验，使用样板平尺与被测平面垂直接触的时候，需要光的情况来进行平面度的误差大小的判断。2、工件平行度的检验，当工件的基准面的平行度符合一定要求的时候，几点的厚度差值为工件的平行度的误差。使用百分表或者是千分飚来检验工件表面的平行度误差。3、工件表面精度检测包括垂直度的检验，可以使用直角尺或者是圆柱角尺进行检验。4、工件表面垂直度的检验，工件斜面与基准面之间所存在的夹角可以用正弦规以及角度块规组进行检验。研磨维修中常用磨料的知识介绍就研磨机而言，其种类有很多，比较常用的有研磨动力头、单圆盘研磨机、双圆盘研磨机、方板的平面研磨机、量面研磨机、球面研磨机、球磨机、滚针研磨机、玻璃研磨机、中心孔研磨机、无心式研磨机、齿轮研磨机以及振动抛光机等。在研磨维修中常用磨料有哪些以及要注意哪些事项？各种磨料具有不同的特性，机械密封件研磨研磨密封环常用磨料的有：①机械密封件研磨之氧化铝系列氧化铝系列磨料有白色的结晶的纯氧化铝（AI203）俗称百刚玉，（Cr203）称为铬刚玉，常用的是百刚玉，初研时采用百刚玉和碳化硼，粒度在W14-W40，半精研用W14－W7,精研用W5-W1②机械密封件研磨之炭化物系主要有纯炭化硅（Sic）为绿色，当有微量元素时为黑色，还有炭化硼（BC）为黑色硬度超过炭化硅而低于金刚石。还有金刚石系。正确选择磨料非常重要，根据修磨的工件的硬度来选择磨料。机械密封件研磨之磨料的硬度决定加工密封环的速度和表面粗糙度。常用的是，百刚玉和碳化硼。初研时采用粒度在W14-W40，半精研用W14－W7,精研用W5-W1。)