兴之扬蚀刻电视304不锈钢网小编来给大家讲解什么是干法蚀刻：电浆干法蚀刻主要应用于集成电路制程中线路图案的定义，通常需搭配光阻的使用及微影技术，其中包括了1)氮化硅(Nitride)蚀刻：应用于定义主动区；2)复晶硅化物/复晶硅(Polycide/Poly)蚀刻：应用于定义闸极宽度/长度；3)复晶硅(Poly)蚀刻：应用于定义复晶硅电容及负载用之复晶硅；4)间隙壁(Spacer)蚀刻：应用于定义LDD宽度；5)接触窗(Contact)及引洞(Via)蚀刻：应用于定义接触窗及引洞之尺寸大小；6)钨回蚀刻(EtchBack)：应用于钨栓塞(W-Plug)之形成；7)涂布玻璃(SOG)回蚀刻：应用于平坦化制程；8)金属蚀刻：应用于定义金属线宽及线长；9)接脚(BondingPad)蚀刻等。影响干法蚀刻特性好坏的因素包括了：1)干法蚀刻系统的型态；2)干法蚀刻的参数；3)前制程相关参数，如光阻、待蚀刻薄膜之沉积参数条件、待蚀刻薄膜下层薄膜的型态及表面的平整度等。兴之扬吹风机蚀刻不锈钢网小编给大家介绍金属蚀刻加工前的质量验收规范：（1）待金属蚀刻来料数量应符合产品交接单，并签署产品交接手续。（2）待金属蚀刻工件应附有金属材料的牌号、热处理状态机成形方法。对于有特殊要求的工件应提供与工件材料及加工方式完全一致的样件。（3）待金属蚀刻工件必须符合产品技术要求、并附有相应的产品样图、签署完整的工艺文件及上道工序的质量卡。（4）待金属腐蚀工件的表面应无油漆。印迹、严重锈蚀及其他赃物，如锈蚀严重应另附文件说明原因和处理方法。（5）待金属腐蚀工件表面不允许有超过原材料标准规定的划痕、碰伤、压坑；不允许有超过产品样图规定的擦伤、压伤及金属或非金属压入物、裂纹轧痕等。对于非结构低要求工件，如允许有上述表面缺陷应在交接工艺工件上注明允许缺陷的内容及程度。（6）待金属蚀刻工件需装夹、吊挂的部位应留有加工余量，如是已完成外形加工的工件，应标明在工件上可以装夹、吊挂的位置。（7）待金属蚀刻工件上的机加工边缘应，没有毛刺、锐边应倒圆角、无焊接飞溅物等。（8）允许在腐蚀加工余量区域规定的其他位置上制作刻形用的基准线、***孔、冲眼及像限线，其尺寸应附合工艺文件的规定。（9）工件的毛胚及试样的下料方向应符合有关工艺文件的要求。兴之扬蚀刻不锈钢网片小编给大家介绍什么是氮化硅的湿式蚀刻:氮化硅可利用加热至180°C的磷酸溶液(85%)来进行蚀刻(5)。其蚀刻速率与氮化硅的成长方式有关，以电浆辅助化学气相沉积方式形成之氮化硅，由于组成结构(SixNyHz相较于Si3N4)较以高温低压化学气相沉积方式形成之氮化硅为松散，因此蚀刻速率较快许多。但在高温热磷酸溶液中光阻易剥落，因此在作氮化硅图案蚀刻时，通常利用二氧化硅作为屏蔽。一般来说，氮化硅的湿式蚀刻大多应用于整面氮化硅的剥除。对于有图案的氮化硅蚀刻，还是采用干式蚀刻为宜。)