在线微量湿度异动变送器PuraPlus品牌：密析尔产地：英国湿度变送器PuraPlus产品简介新型的PuraPlus是密析尔仪表针对晶圆工业对于设备尺寸和指标的需求变化而特殊设计的。PuraPlus是一款在线微量湿度异动变送器，多路安装在半导体工厂内通向生产线的气体供应***末端，用来监测超纯惰性气体的应用。工厂内气体系统分布复杂，涉及到很多分支、节点和使用点。因此在常规的湿度监测点后，会由于微量的泄漏、低效的系统设计、元件故障或过程出错等等原因导致湿气渗入，影响下游使用。而安装在分布系统中PuraPlus能够提供快速的响应指示，在20ppb湿气级别下1ppb的异动的响应时间小于1分钟。湿度变送器PuraPlus产品特点对ppb级别湿度异动的快速响应高灵敏度，实时监测多点测量安装的全新概念小巧经济信号灯式的状态指示警告和报警点设置可编程Modbus网络兼容远程控制界面的多通道软件(UHP)超纯气体的管线检测湿度变送器PuraPlus技术参数响应速度：<1分钟20ppb湿气变动1ppb的响应时间湿度量程：1ppbto20,000ppm压力范围：0to10bar耐压等级：300bar泄漏测试：0-9mbarl/s工作流量范围：1~10l/min工作温度：5~40°C存储温度：30~70°C电源：20~28VDC功耗：5W外部***丝等级：500mA快熔型数据输出：ModbusASCII两线RS485警告和报警输出：2路电压：40VDC电流：100mA外壳材质：不锈钢AISI316L,内表面电抛光<10Ra传感器结构：氧化铝电解质,上层镀金保护,下层铝层内部容积：4.4cm³重量：450g气路接口：1/4"mVCR电气接口：9-针D-型m接口电磁兼容性：EN50081-2和EN50082-2)