湿式蚀刻的优缺点低成本、高可靠性、高产能及优越的蚀刻选择比。但相对于干式蚀刻，除了无法定义较细的线宽外，湿式蚀刻仍有以下的缺点：1)需花费较高成本的反应溶液及去离子水；2)化学***处理时人员所遭遇的安全问题；3)光阻附着性问题；4)气泡形成及化学蚀刻液无法完全与晶圆表面接触所造成的不完全及不均匀的蚀刻；5)废气及潜在的性。湿式蚀刻过程可分为三个步骤：1)化学蚀刻液扩散至待蚀刻材料之表面；2)蚀刻液与待蚀刻材料发生化学反应；3)反应后之产物从蚀刻材料之表面扩散至溶液中，并随溶液排出(3)。三个步骤中进行慢者为速率控制步骤，也就是说该步骤的反应速率即为整个反应之速率。大部份的蚀刻过程包含了一个或多个化学反应步骤，各种形态的反应都有可能发生，但常遇到的反应是将待蚀刻层表面先予以氧化，再将此氧化层溶解，并随溶液排出，如此反复进行以达到蚀刻的效果。如蚀刻硅、铝时即是利用此种化学反应方式。蚀刻加工的孔径是多大？蚀刻工艺并不是什么图纸都能加工，也有一定的局限性，而且图纸设计时注意几个基本的原理：1．蚀刻开孔的大小＝1.5x材料厚度，例如：0.15mm的厚度。开孔直径＝0.15x1.5=0.22~0.28mm。如果需要小的孔，可以开喇叭孔，但也要看图纸结构而定。2．孔与孔之间的孔间距（也成为线宽）与材料厚度1：1。假设材料厚度0.15mm，留下来的线宽在0.15mm左右，当然也要看产品的整体结构。因此，各位设计工程师在设计产品时可遵循基本原理，但特殊情况另议。精密蚀刻产品的优势：1.低开模费用,（任意外形更改，降低设计成本，可随意设置LOGO及文字）2.品质,（边缘刺，不变形，尺寸更加，表面无刮伤，压痕）3.高精密度,（如需要公差可限制于±0.0015mm以内,3微米以内）4.厚薄材料均可加工,（材料可从0.01—1.0mm）5.可实现半腐蚀不锈钢加工。6.所有精密图形图案均可腐蚀,完善各种机械设备无法达成的精密间隙及图纹7.几乎所有金属都能被蚀刻,对各种图案设计制8.产品不变形,不改变材料性质,不影响产品的功能,制造各类机械加工所无法完成的金属部件)