金属蚀刻网片-江门不锈钢网-兴之扬不锈钢网片
不锈钢网片蚀刻是什么?蚀刻,通常也称化学蚀刻,也有人称为腐蚀。是指通过***显影工序,将产品的图形转移到金属钢片上,将要蚀刻的区域保护起来,不要的区域除去保护膜露出金属部分,再用化学水溶液达到腐蚀的作用,形成凹凸半刻或者镂空成型的效果。蚀刻早期用做铜版、锌版等印刷凹凸版,也广泛地使用于减轻重量仪器镶板,铭牌及传统加工法难以加工之薄形工件等的加工。经过不断改良和工艺设备发展,亦可以用于航空、机械、化学工业中电子薄片零件精密蚀刻产品的加工,特别在半导体制程上,蚀刻更是不可或缺的技术。兴之扬蚀刻不锈钢网片小编来向大家说说电浆干法蚀刻制程参数:电浆蚀刻制程参数一般包括了射频(RF)功率、压力、气体种类及流量、蚀刻温度及腔体的设计等因素,而这些因素的综合结果将直接影响蚀刻的结果。射频(RF)功率是用来产生电浆及提供离子能量的来源,因此功率的改变将影响电浆中离子的密度及撞击能量而改变蚀刻的结果。压力也会影响离子的密度及撞击能量,另外也会改变化学聚合的能力;蚀刻反应物滞留在腔体内的时间正比于压力的大小,一般说来,延长反应物滞留的时间将会提高化学蚀刻的机率并且提高聚合速率。气体流量的大小会影响反应物滞留在腔体内的时间;增加气体流量将加速气体的分布并可提供更多未反应的蚀刻反应物,因此可降低负载效应(LoadingEffect);改变气体流量也会影响蚀刻速率。原则上温度会影响化学反速率及反应物的吸附系数(AdsorptionCoefficient),提高芯片温度将使得聚合物的沉积速率降低,导致侧壁的保护减低,但表面在蚀刻后会较为干净;增加腔体的温度可减少聚合物沉积于管壁的机率,以提升蚀刻制程的再现性。晶圆背部氦气循环流动可控制蚀刻时晶圆的温度与温度的均匀性,以避免光阻烧焦或蚀刻轮廓变形。其它尚须考虑的因素还有腔体的材质,一般常见的材质包含铝、陶瓷、石英、硅及石墨等,不同的腔体材质会产生不同的反应产物并会改变蚀刻的直流偏压。除油不净的原因有:溶液事先清洗不干净——除油溶液温度低,时间短——除油溶液浓度低,根据问题出现的原因,对应加强溶剂的清洗工作,提升除油溶液温度到规范区间,加强除油时间以及提高除油溶液浓度到工艺范围就可以解决了,关键是在操作前,作业师傅或者技术员对相关浓度与温度以及时间要有准确的判断,设定合适的蚀刻工艺。工件表面有印迹,主要可能的原因是工件表面残有残碱或者残酸,和材料产生化学反应,有了锈迹,一般是除油和光化处理后清洁不到位引起的,因此要加工强水洗工作,去除残碱残酸;另外材料或者工件在腐蚀场合停留过久也会与空气中的酸碱产生反应,导致印迹的产生,因此工件经过清洗后,要尽快转入防蚀层的制作工序。)
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