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兴之扬蚀刻电视304不锈钢网小编来给大家讲解什么是干法蚀刻:电浆干法蚀刻主要应用于集成电路制程中线路图案的定义,通常需搭配光阻的使用及微影技术,其中包括了1)氮化硅(Nitride)蚀刻:应用于定义主动区;2)复晶硅化物/复晶硅(Polycide/Poly)蚀刻:应用于定义闸极宽度/长度;3)复晶硅(Poly)蚀刻:应用于定义复晶硅电容及负载用之复晶硅;4)间隙壁(Spacer)蚀刻:应用于定义LDD宽度;5)接触窗(Contact)及引洞(Via)蚀刻:应用于定义接触窗及引洞之尺寸大小;6)钨回蚀刻(EtchBack):应用于钨栓塞(W-Plug)之形成;7)涂布玻璃(SOG)回蚀刻:应用于平坦化制程;8)金属蚀刻:应用于定义金属线宽及线长;9)接脚(BondingPad)蚀刻等。影响干法蚀刻特性好坏的因素包括了:1)干法蚀刻系统的型态;2)干法蚀刻的参数;3)前制程相关参数,如光阻、待蚀刻薄膜之沉积参数条件、待蚀刻薄膜下层薄膜的型态及表面的平整度等。不锈钢蚀刻过程中的注意事项:加工区:不锈钢件的加工区域应相对固定。不锈钢件加工区的平台应采取隔离措施,如铺上橡胶垫等。不锈钢件加工区应避免对不锈钢件的损伤与污染。下料:不锈钢件的下料采用剪切或等离子切割,锯切等。机械加工:不锈钢件在车、铣等机械加工时也应注意防护,作业完成时应清洗干净工件表面的油污、铁屑等杂物。成型加工:在卷板、折弯过程中,应采取有效措施避免造成不锈钢件表面划伤和折痕。吸尘器不锈钢网片的物理化学机械特性①热膨胀系数:因温度变化而引起物质量度元素的变化。膨胀系数是膨胀-温度曲线的斜率,瞬时膨胀系数是特定温度下的斜率,两个温度之间的平均斜率是平均热膨胀系数。膨胀系数可以用体积或者是长度表示,通常是用长度表示。②密度:物质的密度是该物质单位体积的质量,单位是kg/m3或1b/in3。③弹性模量:当施加力于单位长度棱住的两端能引起物体在长度上的单位变化时,单位面积上所需的力称为弹性模量。单位为1b/in3或N/m3。④电阻率:在单位长度立方体材料的两对面之间测量的电阻,单位用Ω?m,μΩ?cm或(已废的)Ω/(circularmil.ft)来表示。⑤磁导率:无量纲系数,表示物质易被磁化的程度,是磁感应强度与磁场强度之比。⑥不锈钢熔化温度范围:确定合金开始凝固和凝固完了的温度。)
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