电子束镀膜有哪些特点？

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★ 完全封闭的系统框架设计，外观更漂亮，镇江高真空电子束镀膜机，使用更安全；是一台兼具美学和用户操控体验的全新升级产品；

★ 前开门真空腔体，方便取放基片、添加蒸发材料以及真空室的日常维护；

★ 可定制一体化高的精度刻蚀掩膜板；基片台公转，高真空电子束镀膜机价格，转速0～25rpm连续可调；平板基底衬底可选择加热或水冷；

★ 更优的薄膜均匀性和重复性，采用进口膜厚监控仪在线监测和控制蒸发速率、膜厚；

★ 可沉积金属（Au， Ag， Al， Ti， Pt， Mo， Fe， Cr， Ni等）、化合物（ITO等）及有机物材料（进口电子枪）。

电子束蒸镀系统的特点

* 涡轮分子泵，串接机械泵或干泵

* pocket电子枪

* 电子束源和基片遮板

* 性能好的开关电源，杰出的消弧性能

* 自动Pocket索引以及可编程的扫描控制器

* 膜厚监测，可设置目标膜厚作为工艺终点条件

* 旋转样品台，提供高均匀性

* 带观察视窗的腔门，便于放片/取片

* PC全自动控制，高真空电子束镀膜机厂家，具有高度的可重复性

* Labview软件的计算机全自动工艺控制控

* 多级密码保护的***访问设计

* EMO保护以及完全的安全联锁

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电子束镀膜机的特点/用途介绍

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产品特点/用途：

?设备一体化设计，占地面积小，高真空电子束镀膜机多少钱，性能稳定，性价比高，使用维护成本低；

?适用于实验室制备金属单质膜、半导体膜、有机膜，也可用于生产线前期工艺试验等；

?适用于制备光学薄膜、导电薄膜、半导体薄膜、铁电薄膜等。

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