高温束源炉技术特征
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高温束源炉,包括机架,其特征在于,包括底座和垂直设置在所述底座上的立杆,本体包括坩埚、加热丝、冷却波纹管和电极组件,底座的上方设置有保护罩,超高真空观察窗,保护罩内设置有所述坩埚和所述加热丝,坩埚上设置有所述加热丝,坩埚的外侧设置有屏蔽层,超高真空观察窗生产厂家,底座上设置有所述冷却波纹管和所述电极组件,冷却波纹管通过连接管路与所述束源炉本体连通,电极组件通过连接引线与所述束源炉本体连接。
加热样品台的设计原理
设计原理为:将样品槽设置在中空腔中,中空腔中通入热空气对样品槽进行加热,从而对样品进行传热加热,而随着热空气装置不断向中空腔中通入空气,中空腔中的压力会增大,从而通过泄压口向气管排气,排出的气体会通过气管到达多孔头,从而对样品容器通入热空气,一方面热空气对样品容器中的样品进行加热,另一方面还能起到空气搅拌的作用。
热空气装置包括空压机、加热箱和管道,空压机通过所述管道与所述加热箱连通,超高真空观察窗定做,加热箱通过管道与所述中空腔连通,空压机产生的空气通过管道进入到加热箱中进行加热,超高真空观察窗厂家,并经管道通入到中空腔中。
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靶材的类别有哪些?
溅射靶材的种类较多,即使相同材质的溅射靶材也有不同的规格。按照不同的分类方法,能够将溅射靶材分为不同的类别,主要分类情况如下:
按形状分类:长靶、方靶、圆靶按化学成份分类:金属靶材(纯金属铝、钛、铜、钽等)、合金靶材(镍铬合金、镍钴合金等)、陶瓷化合物靶材(氧化物、硅化物、碳化物、硫化物等)
按应用领域分类:半导体芯片靶材、平面显示器靶材、太阳能电池靶材、信息存储靶材、I具改性靶材、电子器件靶材、其他靶材。
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