高温束源炉介绍

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束源炉是一种蒸发镀膜装置是在高真空条件下，通过加热材料的方法，使坩埚中被蒸发物在衬底上沉积各种化合物、混合物单层或多层膜，可用于镀半导体、金属膜，氧化物、纳米级单层及多层功能膜的连续沉积。

加热效率高，温度测量控制重复性好，并且可以准确调节。钽灯丝的优化设计确保了加热稳定性，即使在极限温度下也可以具有很长的使用寿命。

高温束源炉技术特征

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高温束源炉，包括机架，CF50水冷铜电极公司，其特征在于，包括底座和垂直设置在所述底座上的立杆，本体包括坩埚、加热丝、冷却波纹管和电极组件，底座的上方设置有保护罩，保护罩内设置有所述坩埚和所述加热丝，坩埚上设置有所述加热丝，坩埚的外侧设置有屏蔽层，CF50水冷铜电极，底座上设置有所述冷却波纹管和所述电极组件，CF50水冷铜电极报价，冷却波纹管通过连接管路与所述束源炉本体连通，电极组件通过连接引线与所述束源炉本体连接。

水冷电缆电极性能要求

水冷电缆外护套胶管耐击穿电压V≧2300V。

水冷电缆外护套胶管耐工作水压P≧0.6Mpa。

外护套胶管与电极接口处冷却水无渗漏。

软体导线与电极在专用设备上冷挤压紧固。

200mm2标称截面积的试验拉力为15KN，在此基础上，水冷电缆标称截面积每增加100mm2，试验拉力值相应增， 加5KN。

水冷电缆的表面温升（包括连接处）不大于40K。

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