钙钛矿镀膜设备Parylene

钙钛矿镀膜设备

以下内容由沈阳鹏程真空技术有限责任公司为您提供，今天我们来分享电阻热蒸发镀膜产品的相关内容，希望对同行业的朋友有所帮助！

设备用途 ：

适用于制备金属单质薄膜、半导体薄膜、氧化物薄膜、有机薄膜等，可用于科研单位进行新材料、新工艺薄膜研究工作，Parylene生产厂家，也可用于大批量生产前的试验工作。广泛应用于有机、无机、钙钛矿薄膜太阳能电池、OLED等研究领域

设备组成：该设备主要由沉积室、真空排气系统、真空测量、蒸发源、样品加热、电控系统、等部分组成。

1、镀膜室：方形前后开门结构，内带有防污板。

2、真空度：镀膜室的极限真空≤5×10-5Pa；

3、蒸发源系统：有机源蒸发源4个，Parylene公司，无机蒸发源2套

4、样品架系统：样品大小为Φ150mm的样品，旋转速度为：0～30转/分；

5、样品在镀膜过程中，可烘烤加热，加热温度为：室温～190℃，测温控温。

6、膜厚控制仪：测量范围0-999999?

有机无机蒸发镀膜仪

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有机无机蒸发镀膜仪采用直线式结构，Parylene报价，主要由二个有机材料生长室组成，两个有机材料生长室之间通过闸板阀联接，其中一个生长室系统预留与手套箱对接接口，能够完成二套***的制备薄膜系统之间互相传送基片。有机无机蒸发镀膜仪的有机材料生长室主要由真空室腔体组件、有机蒸发源、热阻蒸发舟、样品传递装置、样品台、膜厚监测仪、真空室照明装置、烘烤装置等组成。

Parylene裂解仪

Parylene用独特的真空气相沉积工艺（CVD技术）制备，由活性小分子在基材表面'生长'出完全敷形的聚合物薄膜涂层，它能涂敷到各种形状的表面，包括尖锐的棱边，号称'无孔不入'可深入裂缝里和内表面。这种真空状态下室温沉积制备的0.1-100微米薄膜涂层，厚度均匀、致密无、透明无应力、不含助剂、不损伤工件、有优异的电绝缘性和防护性，Parylene，甚至被业内称为当今世界的防潮、防霉（零级）、防腐、防盐雾的特殊防护涂层。Parylene涂层在具备以上优异防护性能基础上，尤其还具有良好的生物兼容性，生物稳定性，并有优异的自润滑性，涂层均匀可控性，以及好的物理机械性能。

1.一腔体，采用SUS304不锈钢舱体有效镀膜空间 ≧ 直径300mm x 高度350mm，腔体设有观景窗， 采用掀盖式腔盖并设有把手以便腔盖开闭。

2. 旋转平台，可承载重量: 20公斤，旋转速度: 0.5至10 rpm。

3. 油式泵浦，抽气速度 ≧ 200L/min ; 压力 ≦ 5*10-3Torr。

4. 控制系统，采用具PID功能之温控模块及高精度温度传感器，系统可进行自动或半自动(温控/真空)操作，并可储存与选择Recipe 。

5. 附属冷凝机，温度 ≦ -90℃

期望大家在选购电阻热蒸发镀膜产品时多一份细心，少一份浮躁，不要错过细节疑问。想要了解更多电阻热蒸发镀膜产品的相关资讯，欢迎拨打图片上的***电话！！！

Parylene报价-北京沈阳鹏程-Parylene由沈阳鹏程真空技术有限责任公司提供。沈阳鹏程真空技术有限责任公司（www.pengchengzk.com）为客户提供“电阻热蒸发镀膜，磁控溅射，激光脉冲沉积，电子束”等业务，公司拥有“鹏程真空”等品牌。专注于成型设备等行业，在辽宁 沈阳 有较高知名度。欢迎来电垂询，联系人：董顺。