脉冲激光沉积简介
沈阳鹏程真空技术有限责任公司——***脉冲激光沉积供应商,我们为您带来以下信息。
【设备主要用途】
PLD450A型脉冲激光沉积设备采用PLD脉冲激光沉积技术,PLD300A型激光镀膜设备价格,用于制备高温超导薄膜、半导体膜、铁电薄膜、硬质薄膜以及微电子和光电子用多元氧化物薄膜及异质结,也可用于制备氮、碳、硅化合物及各种有机—无机复合材料薄膜及金刚石薄膜等。
【设备优点】
设备全程采用一键式操作抽气,关机,程序自动化定时操作。避免了繁琐的角阀,插板阀人工开启。
【设备主要组成】
设备由沉积腔室(单室球形或圆筒形)、样品加热转台、激光入射转靶、激光窗、电源控制系统、激光束扫描系统、计算机控制转靶的旋转、脉冲准分子激光器等组成
PLD450型脉冲激光镀膜介绍
沈阳鹏程真空技术有限责任公司——***脉冲激光沉积供应商,pld300型激光镀膜设备价格,我们为您带来以下信息。
主要用途:
用于制备超导薄膜、半导体薄膜、铁电薄膜、超硬薄膜等。适用于各大专院校、科研院所进行薄膜材料的科研与小批量制备。
系统组成:
主要由溅射真空室、旋转靶台、基片加热台、工作气路、抽气系统、安装机台、真空测量及电控系统等部分组成。
PLD450型脉冲激光镀膜介绍
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技术指标:
极限真空度:≤6.7×10 Pa
***真空时间:从1×10 Pa抽至5×10 Pa≤20min
系统漏率:6. 7×10-7Pa.L/S;
真空室:Ф450球型真空室 ,PLD450型激光镀膜设备价格,
基片尺寸:可放置4″可实现公转换靶位描等基片加热可连续回转,激光镀膜设备价格,转速5-60转/分基片与蒸发源之间距离300-350mm可调。
二维扫描机械平台,执行两自由度扫描,控制的内容主要有公转换靶、靶自转、样品自转、样品控温、激光束扫,
质量流量控制器1路
烘烤温度:150℃数显自动热偶控温(高温炉盘,数显自动热偶控温可加热到800℃)
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