电子束蒸发镀膜机的技术特点

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1、样品台：水冷样品座，样品座高度可调，便于调整蒸距。调节范围：样品台与基片的可调节范围300mm.

2、电子枪：电子枪功率6kW可调（满足金属、绝缘材料高速蒸发）4穴水冷坩埚（适用于对多种材料进行蒸发镀制多层膜且膜层较薄工艺中应用效果好）。为保持E型电子枪蒸发绝缘稳定性，配制高品质束流扫描控制器，具有多种供控制程序进行选择的预设模式，方便于操作、实验数据积累。配套相应蒸发坩埚内衬，以适应不同材料，电子束蒸发镀膜机，确保蒸发速率稳定性，DZS450型电子束蒸发镀膜机销售，重复性.

电子束镀膜与电阻镀膜的区别

电子束蒸镀与利用电阻进行蒸镀的优势在于：可以为待蒸发的物质提供更高的热量，因此蒸镀的速率也更快；电子束***准确，可以避免坩埚材料的蒸发和污染。但是由于蒸镀过程中需要持续水冷，DZS450型电子束蒸发镀膜机公司，对能量的利用率不高；而且由于高能电子可能带来的二次电子可能使残余的气体分子电离，也有可能带来污染。此外，大多数的化合物薄膜在被高能电子轰击时会发生分解，这影响了薄膜的成分和结构 。

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电子束蒸发镀膜机各部件介绍

1、烘烤照明系统1套。烘烤温度：室温-150℃。（在10-4Pa时，真空室内残余气体的组合，水蒸汽约占 90%以上，因此在该压强下进行蒸镀，实际上相当于在水蒸汽中制膜，DZS450型电子束蒸发镀膜机，为了减少水份，提高真空室温，使水分解，是提高膜层质量的一种可行办法）。

2、电控柜：标准电控柜，组装总控制电源、真空系统控制（分子泵、机械泵电源、挡板等）、数显真空计等。柜底下配脚轮，方便移动、***。

3、手动按钮式操作，备留机电转换及控制接口，方便实验记录.

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