真空度的高低会直接影响到镀膜的效果，检查漏气情况是保证真空镀膜机真空度的是必不可少的一项检查措施。那么在真空镀膜设备检漏的过程中有哪些是需要注意的呢？

选择光线充足的检漏场地，水槽内的背景要暗，水要清洁透明，水面上不要有汽雾。

在检漏之前要认真地清洗焊缝，清除油污、粉尘和焊渣。被检部位应尽可能地接近水面。

被检查的物件要放稳定的放在水中，等到水面静下来后再行观察。

被检查的物件一定要先充气，再放入水中，否则如果有大的漏孔，水可能进入被检容器，小孔可能被水堵塞。放入水中之前先用听音法检查有无大漏，排除大漏后再放入水中，否则将会影响小漏孔的检测。

真空中制备膜层可防止膜料和镀件外表的污染，消除空间磕碰，进步镀层的细密性和可制备单一化合物的特别功用的镀层。为了进步镀层厚度的均匀性，镀在真空室中夹有行星***或旋转运动的设备，如一个行星的运动形式，运动形式的膜均匀性好，镀层的台阶覆盖性能好，承载才能大，可充分利用有用空间的真空镀膜室，是一个运动的常用形式。真空蒸发镀膜玻璃的品种和质量与磁控溅射镀膜玻璃相比均存在一定差距，已逐步被真空溅射法取代。排气体系通常由机械泵，分散泵，管道和阀门构成。为了进步泵的流量，能够增加增压器之间的机械泵和分散泵。

充气方式可选用质量流量计、浮子流量计 针阀及相应的充气阀门，并可选择多路充气管路及相应流量参数。真空镀膜设备根据需烘烤的结构提出烘烤温度、材质以及所需配备相应仪表测量。一、检查好漏孔的大小、位置、形状和漏气速度，根据它制备出可以解决的方案并实施。根据设备使用特点，可选择手动、半自动、全自动或其组合的控制方式。完善的报警系统，对真空室体、扩散泵断相、缺水、气压、电源负载的过压、过流等异常情况进行声光报警。