随着科学技术的发展以及真空应用领域的扩大，原有的机械真空泵及其组成的抽气系统出现了两个急需解决问题：一是泵的工作介质返流污染被抽容器，而这种返流在许多情况下影响产品的质量、数量，增加设备的维护成本。目前，真空行业使用的大多数机械真空泵都是用油、水或其它聚合物等流体充当泵的工作介质，在泵内起冷却、密封、润滑等多种作用。其次，由于某些工艺过程中的反应物质使真空泵内的介质严重变质，使泵不能正常工作。

对于普通的无油真空系统来说，虽然可用油封式真空泵加上冷阱或吸附阱之类附件来防止返流，但不能解决问题，而且使系统显得复杂。而使用适当型式的干式机械真空泵，则可以达到理想的使用效果。

射汽式抽气器由工作喷嘴、混合室和扩压管三部分组成。企业生产现场管理工作没有强调现场意识和作业标准化，完全依靠现场管理人员的管理能力与责任心，至使生产现场产生管理不到位、员工工作不积极、生产流程标准不统一、物流信息不准确等诸多问题。工作蒸汽经过喷嘴时热降很大，流速***，喷嘴出口的高速蒸汽流，使混合室的压力低于凝汽器的压力，因此凝汽器里的空气就被吸进混合室里。吸入的空气和蒸汽混合在一起进入扩压管，在扩压管中流速逐渐降低，而压力逐渐升高。

对于一个二级的主抽气器，蒸汽经过一级冷却室冷凝成水，空气再由第二级射汽抽气器抽出。其工作过程与首级完全一样，只是在第二级射汽抽气器的扩压管里，蒸汽和空气的混合气体压力升高到比大气压力略高一点，经过冷却器把蒸汽凝结成水，空气排到大气里。

磁控溅射镀膜是气象淀积的一种，广泛应用于电子，建筑，汽车等行业中，尤其适用于大面积镀膜。

磁控溅射镀膜以其高速、低温、几乎可以溅射任何材料的特点，现在已经成为应用***广泛的薄膜制备方法之一。

磁控溅射镀膜的薄膜均匀性、成膜质量、镀膜速率以及工艺的稳定性和重复性是人们非常关心的问题，而设备的稳定性直接决定了工艺的稳定性。

磁控溅射的种类很多，按所用电源分，可以分为直流磁控溅射、射频磁控溅射、中频磁控溅射。