真空镀膜系统主要构成

真空室：涂层设备主要有连续涂层生产线及单室涂层机两种形式，不锈钢材料制造、表面进行化学抛光处理，真空室组件上焊有各种规格的法兰接口。

真空获得部分：在真空技术中，真空获得部分是重要组成部分。真空的获得不是一种真空设备和方法所能达到的，必须将几种泵联合使用，如机械泵、罗茨泵、分子泵系统等。

真空测量部分：真空系统的真空测量部分，就是要对真空室内的压强进行测量。像真空泵一样，没有一种真空计能测量整个真空范围，人们于是按不同的原理和要求制成了许多种类的真空计。如热偶计，电离计，皮拉尼计等等。

化学组分上的均匀性: 就是说在薄膜中，化合物的原子组分会由于尺度过小而很容易的产生不均匀特性，SiTiO3薄膜，如果镀膜过程不科学，那么实际表面的组分并不是SiTiO3，而可能是其他的比例，镀的膜并非是想要的膜的化学成分，这也是真空镀膜的技术含量所在。通常形成真空泵运行期间轴承过热有以下几点缘由：1、阀片开裂：当一个阀片开裂时，叶轮两边的压力将不平衡，转子会发生轴向力，使轴承负载加剧，长期运转会使轴承温度上升。 具体因素也在下面给出。

晶格有序度的均匀性: 这决定了薄膜是单晶，多晶，非晶，是真空镀膜技术中的热点问题，

主要分类有两个大种类: 蒸发沉积镀膜和溅射沉积镀膜，具体则包括很多种类，包括真空离子蒸发，磁控溅射，MBE分子束外延，溶胶凝胶法等等 。

真空镀膜设备稳压器

稳压器是保障设备精密电子元器件不遭受电流***的一种必备部件，城市供电的电压忽高忽低变化是再正常不过的事情，稳压器解决了真空镀膜设备运行中电压电流瞬时过载对于元件的冲击，从而大大提高了系统运行可靠性。

稳压器应该具备一定性能：安全、省电、平稳、快速且范围广。

安全：过载保护、模组设计、自动旁路。

省电：低的功耗设计，超低的空载电力消耗。

平稳：不波动，保持不间断的平稳电流输出。

快速：电压侦测须灵敏，具有快速的反应时间。