随着科学技术的发展以及真空应用领域的扩大，原有的机械真空泵及其组成的抽气系统出现了两个急需解决问题：一是泵的工作介质返流污染被抽容器，而这种返流在许多情况下影响产品的质量、数量，增加设备的维护成本。其次，由于某些工艺过程中的反应物质使真空泵内的介质严重变质，使泵不能正常工作。经预抽使氦氢分压到10-12帕数量级，故泵可获得10-11帕以下的极限压力。

对于普通的无油真空系统来说，虽然可用油封式真空泵加上冷阱或吸附阱之类附件来防止返流，但不能解决问题，而且使系统显得复杂。而使用适当型式的干式机械真空泵，则可以达到理想的使用效果。

沈阳诺思真空技术有限公司（原沈阳天成真空技术有限责任公司）成立于2012年，是以超高真空技术为基础、从事各种真空应用设备研发、生产和销售为一体的技术型企业。

生产管理的水平决定了企业整体管理水平，企业管理者应通过多种途径，提高企业的生产管理水平，追求***、低耗、均衡、安全的目标。对于真空设备制造企业来说，管理者要转变观念，加强制度建设，以“标准化良好行为企业”创建活动为契机，一手抓产品营销，一手抓生产管理，提高企业的生产效率。但是在提高真空的同时，需要向凝汽器多供冷却水，从而增加循环水泵的耗功。

溅射技术的成就之一是磁控溅射。由于在磁控溅射中引入了正交电磁场使离化率提高到5~6%。于是溅射速率比三级溅射提高10倍左右，对许多材料，溅射速率达到了电子束蒸发的水平。

控溅射具有“低温”、“高速”两大特点。

磁控溅射是以磁场来改变电子的运动方向，并束缚和延长电子的运动轨迹，从而提高电子对工作气体的电离几率和有效的利用了电子的能量。因此，是正离子对靶材轰击所引起的靶材溅射更加有效。

所以磁控溅射具有“低温”“高速”这两大特点。