工艺气体输入系统

工艺气体，一般均由气瓶供应，经气体减压阀、气体截止阀、管路、气体流量计、电磁阀、压电阀，然后通入真空室。这种气体输入系统的优点是，管路简捷、明快，维修或更换气瓶容易。各涂层机之间互不影响。也有多台涂层机共用一组气瓶的情况，这种情况在一些规模较大的涂层车间可能有机会看到。它的好处是，减少气瓶占用量，统一规划、统一布局。缺点是，由于接头增多，沈阳真空设备厂，使漏气机会增加。而且，各涂层机之间会互相干扰，一台涂层机的管路漏气，有可能会影响到其他涂层机的产品质量。此外，沈阳真空设备，更换气瓶时，必须保证所有机台都处于非用气状态。

　由于真空泵在高速工作的情况下会形成，转子转速过快会形成支持转子的轴承发热。通常形成真空泵运行期间轴承过热有以下几点缘由：

　1、阀片开裂：当一个阀片开裂时，叶轮两边的压力将不平衡，转子会发生轴向力，使轴承负载加剧，长期运转会使轴承温度上升。此情况下应及时替换阀片。

　2、轴端密封失效：当轴端密封盘根损坏或密封水孔道被阻塞后，会形成空气从这些损坏的缝隙中被吸入到泵体内，会形成泵的吸气及排气性能。若只要一侧密封失效时，会形成叶轮两边压力不平衡，沈阳真空设备生产厂家，转子发生轴向力，使轴承负载加剧，从而使轴承温度增加。

用磁控靶源溅射金属和合金很容易，沈阳真空设备生产商，点火和溅射很方便。这是因为靶（阴极），等离子体，和被溅零件真空腔体可形成回路。但若溅射绝缘体如陶瓷则回路断了。于是人们采用高频电源，回路中加入很强的电容。这样在绝缘回路中靶材成了一个电容。但高频磁控溅射电源昂贵，溅射速率很小，同时接地技术很复杂，因而难大规模采用。为解决此问题，发明了磁控反应溅射。就是用金属靶，加入反应气体如氮气或氧气。当金属靶材撞向零件时由于能量转化，与反应气体化合生成氮化物或氧化物。

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