磁控溅射设备的主要用途:
各种功能性薄膜:如具有吸收、透射、反射、折射、偏光等作用的薄膜。例如,低温沉积氮化硅减反射膜,沈阳真空设备厂家,以提高太阳能电池的光电转换效率。
时沿装饰领域的应用,如各种全反射膜及半透明膜等,如手机外壳,鼠标等。
在微电子领域作为一种非热式镀膜技术,主要应用在化学气相沉积(CVD)或金属有机
化学气相沉积(MOCVD)生长困难及不适用的材料薄膜沉积,而且可以获得面积非常均匀的薄膜。
在光学领域:中频闭合场非平衡磁控溅射技术也已在光学薄膜(如增透膜)、低辐射玻璃和透明导电玻璃等方面得到应用。特别是透明导电玻璃目前广泛应用于平板显示器件、太阳能电池、微波与射频屏蔽装置与器件、传感器等。
与射水抽气器比较,离心真空泵有耗功低、耗水量少的优点,并且噪声也小。离心真空泵的缺点是:过载能力很差,当抽吸空气量太大时,真空泵的工作恶化,真空***。这对真空严密性较差的大机组来说是一个威胁。故可考虑采用离心真空泵与射水抽气器共用的办法,当机组起动时用射水抽气器,沈阳真空设备,正常运行时用真空泵来维持凝汽器的真空。
温度为20K时,沈阳真空设备采购,除氦、***和氢外,其他气体的蒸气压也低于10-8帕。但由于被抽容器和低温冷板的温度不同,沈阳真空设备哪家好,泵的极限压力高于冷凝物的蒸气压。对于室温下的容器,低温板为20K时,泵的极限压力约为冷凝物蒸气压力的4倍。
类型
低温泵分为注入式液氦低温泵和闭路循环气氦制冷机低温泵两种。①注入式液氦低温泵:主要由液氦容器、泵体和连接挡板的液氮腔体等部分组成。
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