沈阳真空设备-沈阳真空设备生产商-诺思真空(推荐商家)
作者:诺思真空2019/12/1 6:34:42

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干式机械真空泵的应用是广泛的,主要有以下几个方面:

低压化学气相沉积中的多晶硅制备工艺中;

半导体刻蚀工艺。在这些生产工艺中往往用到或生成腐蚀性气体和研磨微粒;

除半导体工艺外的某些产生微粒的工艺,不希望微粒混入泵油中,而希望微粒排出泵外,则用一定型式的干式机械真空泵可以满足要求;

在化学工业、食品工业中的蒸馏、干燥、脱泡、包装等,要防止造成污染,沈阳真空设备生产商,适合用干式真空泵;

用做一般无油清洁真空系统的前级泵,以防止油污染。




磁控溅射设备的主要用途:

各种功能性薄膜:如具有吸收、透射、反射、折射、偏光等作用的薄膜。例如,低温沉积氮化硅减反射膜,沈阳真空设备生产厂家,以提高太阳能电池的光电转换效率。

时沿装饰领域的应用,如各种全反射膜及半透明膜等,如手机外壳,鼠标等。


在微电子领域作为一种非热式镀膜技术,主要应用在化学气相沉积(CVD)或金属有机

化学气相沉积(MOCVD)生长困难及不适用的材料薄膜沉积,而且可以获得面积非常均匀的薄膜。


在光学领域:中频闭合场非平衡磁控溅射技术也已在光学薄膜(如增透膜)、低辐射玻璃和透明导电玻璃等方面得到应用。特别是透明导电玻璃目前广泛应用于平板显示器件、太阳能电池、微波与射频屏蔽装置与器件、传感器等。


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