高性能TA系列匀胶机Spin Coater
作者:2010/11/22 2:13:52

 

高性能TA系列匀胶机Spin Coater
沈阳市司乐机器制造厂自主设计制造
高性能TA-系列匀胶机:TA-280匀胶机,TA-360匀胶机。2种规格。
台式一体机(主要推荐);主机,控制器分体;主机台面嵌入式安装,控制器分置;
3种结构形式。
主要性能指标为满足科研实验的严格苛刻的技术要求而开发
 *高精度26程序控制器:
可设定存储26个不同样片的旋转涂敷工艺过程;
每个涂敷工艺过程可以设置51步不同的速度状态;
    加速度(及负加速度),可设置。
    中英文两套操作系统供选择。
    操作系统内驻留涂敷工艺过程模板程序,方便快速调试并存储程序。
    设置程序:面板国际标准通用符号,6键操作;人机交互式对话,提示操作;
无需培训,上手就会操作。
*可连接滴胶机,自动控制在必要的瞬间滴胶,自动控制重复定量滴胶。
精准的重复的自动控制操作,是人工不可能及的。
 *工作腔可氮气保护。
我们设备通过有效的惰性气体保护机构设计,对所有的环境变量(温度,湿度,洁净度)有效控制,这一点完全针对科研实验的苛刻要求而开发。
*真空吸片,爪卡机构。2种工作状态随意选择。 爪卡机构工作状态无需真空泵。方便有空隙的材料及厚重材料涂胶。
*中心结构***:圆形基片使用工具完成中心***。方便快捷,***精度高。主机标准配备一片真空吸盘即可满足(TA-280适用3英寸-11英寸基片);(TA-360适用3英寸-14英寸基片)。小于3英寸可使用定制真空吸盘。
*卡盘,吸盘品种丰富,适应各种需要。
*真空吸片系统更安全:
安装有真空度传感器,涂敷工作过程电脑实时检测系统真空度,必须在安全的真空度下,电机启动,运行。保障可靠吸片,不飞片。运行中失去真空,系统保护性停机。
*伺服电机,转速精度更高:300 - 10000 转/分,转速稳定性:+ - 0.1 %
***高转速10000转/分
*设备所用的天然聚丙烯(NPP)材质,食品级卫生材料,易清洁,材质性能稳定,绿色环保型实验室的***佳选择。
沈阳市司乐机器制造厂 自主设计制造
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