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高纯氧用于二氧化硅的化学气相沉积;作为氧化源与产生高纯水的反应剂;干法氧化;与四氟化碳混合，用于等离子刻蚀。氧的主要用途源于它能维持生命和助燃性质;在冶金工业中有广泛应用。还可用于水质处理。所有的氧化反应和燃烧过程都需要氧，例如炼钢时除硫、磷等杂质，氧和混合气燃烧时温度高达3500℃，用于钢铁的焊接和切割。玻璃制造、水泥生产、矿物焙烧、烃类加工都需要氧。它比其他燃料更便宜。

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维护人类生存的三大物质基础是食物、水、空气（氧气）。

人是靠吸取氧气而吐出二氧化碳生存的。氧气在身体里开始循环补充内脏的机能，在各种酶的作用下产生身体所需要的各种养分来维持生命。使用时，首先要做外部检查，检查***是瓶阀、按管螺纹、减压器等。如果发现有漏气、滑扣、表针动作不灵或'爬高'等，应及时维修，切忌随便处理。

利用物质在空气中或氧气中燃烧产生大量的热，制做焊枪和割枪，进行金属的气焊和气割；在炼铁炼钢的生产中通入空气（利用氧气），提高炉温，加速冶炼过程，提高冶炼质量；制做液氧和火箭中的液态氧助燃剂等。

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在低温条件下加压，使空气转变为液态，然后蒸发，由于液态氮的沸点是‐196℃，比液态氧的沸点（‐183℃）低，因此氮气首先从液态空气中蒸发出来，剩下的主要是液态氧。

其它方面：它本身作为助燃剂与、丙烷等可燃气体配合使用，达到焊割金属的作用，各行各业中，特别是机械企业里用途很广，作为切割之用也很方便，是的一种切割方法。

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