储罐系统驴气干燥和置换步骤

储罐系统干燥和置换

储镶干燥和置换需用由液氮！临时气化系统提供来完成置换工作。｜临时气化系统产生氮的气通过临时管道接入Tl 203 镶系统的氮气管网，再进储罐内部内罐内，控制其进入罐内的流量，保持内罐A 区、拱顶A 区与 B 区环隙空间压力平衡。氮气可绕储罐 A 区、泵井和B 区循环。向储罐引人时，将罐顶中心吹扫喷嘴上的阀门部分打开，以 将储罐压力控制在 8( ± 0 . 5)

k.Pa，并安全放空置换用氮气与空气的？昆合气体。液氮临时气化 系统｛共应在开始时较低，在检查制氮装置的运行情况，且罐内形成氮气一空气界丽后，方可再缓慢纳加氮气供应量。

当内罐氧含量低于15%，对泵井管进行干燥和置换。氧含量低于8%，对 B 区进行干燥和置换。 在内罐的低于一20℃ 且氧含量低于4%时，完成 A 区的干燥和置换工作。当 B 区的露dian低于－10℃且氧含量低于 4%时，B 区完成干燥和置换。当 B 区的氧含:!Jt低于 8%时，管道置换氮气，宦 接把 B 区的 氮气导人 C 区进行干燥和置换。调节八区 、B 区的氧气排放口的开度，使此二区的压力不得超过 I5 kPa ， B 区氮气将通过 raJ隙 渗透进罐底边缘板下部说凝土层及＂＇幅板下部的干砂到达内罐底中心部位，并通过初 级底部吹扫 1--l 排出 储嫌。

C 区进行干燥和置换过程中，燃气管道氮气置换，A 区、日区的压力必须控制始终大于 C 区的压力，以免产生储罐底部***。当C 区氧含量低于 8%时，可以对D 区进行氮气干燥和置换。当初级底部吹扫处l驭样点的氧含量低于4%时， C 区置换合格，继 续对 C 区进行干燥直至储罐及管道系统的氮气干燥置换工作全部完成。

D 区干燥和l 置换先打开底部平衡「l ， 从B 区平衡系统国流口引入喧与D 区相接顶角平衡口，燃气管道氮气置换氧含量，再从底部平衡口置换出空气，控制 D 区的压力不可大于其它区的压力 ，同时保 持A 区、

B 区的压力不得超过 I 5kPa ，当底部平衡口处取样点的氧含于4%时，D 区置换合格，整个储罐完成干燥和置换。

实验室气路安装5
气体管件在安装时，施工原则是应尽可能地以连续式且无接口的方式进行，这样可以减少使用接头的数量，降低潜在的气体泄漏风险。管件与管件间的连接***好以轨道式焊接法（Orbital Welding）来接合，对于不锈钢的焊接要采用弧焊，并向施焊管内通入同等纯度的气，这样可以确保连接的品质，并防止管件内壁因不当的焊接而沉积碳，从而造成气体管件的污染。管件与各种配件之间的连接必须以金属面对金属面密封（Metal to metal face seal）的方式进行。一般晶圆厂比较常用的气体管路连接的接头方式有VCR 和Swagelok两种，具体选用形式应根据生产工艺对高纯度气体的用气要求和气体本身特性进行选择。一般情况下，VCR式的接头主要用在制程气体以及***气体的传输上，管路连接后接头里面的垫圈（Gasket）将会适度变形以确保管路每秒低于10 -9cc的氦气泄漏率（Leakage Rate）。不过在接合时要避免因拴得太紧而导致不锈钢垫圈过度变形造成接合不良或气体外泄。Swagelok 接头通常用在惰性气体、氮气以及CDA等气体的传输上，因为这些气体可以容许一定的外泄率，所以不常用成本较高且须焊接的VCR式接头。总的来说，管件的安装原则是应尽可能减少管件的长度、接头和阀件的数量，因为大多数的***气体的泄漏都发生在施工不当的接头和阀件接合处。

（1）性气体

把自燃、、可燃气体等都定义为这类气体。如常温下的SiH4气体只要与空气接触就会燃烧，当环境温度达到一定时，PH3与B2 H6等气体也会产生自燃。可燃气体都有一定的着火燃烧范围，即上限、下限值。此范围越大的气体起燃烧***性就越高，如B 2H6的上限为98%，下限为0.9%。属于气体有H 2，NH3，PH3，管道氮气置换，DCS，ClF3 。

（2）毒性气体（Toxic Gas）：半导体制造行业中使用的气体很多都是对******、***的。其中又以AsH3， B 2H6，PH3等气体的毒性***大，它们的阈限值TLV（Threshold Limited Valve）分别只有50×10-9，100×10 -9，300×10-9。这些气体在工作环境中的允许浓度极微，因此在贮存、输送以及使用的过程中都要求特别的小心。一般都应该采取特定的技术措施来控制使用这些气体。NO， ***F6，C5F8 ，NF3，CH 3F等都属于毒性气体。

（3）腐蚀性气体（Corrosive Gas）：这些腐蚀性气体通常同时也兼有较强的毒性。腐蚀性气体在干燥状态下一般不易侵蚀金属，但在遇到水的环境下就显示出很强的腐蚀性，如HCl， HF， PCl3， SiF4，ClF3，WF6等。

（4）惰性气体(Inert Gas)： 隋性气体本身一般不会直接对***产生伤害，在气体传输过程中，相对于安全上的要求不如以上其他气体严格。但惰性气体具有窒息特性，在密闭空间若发生泄漏会使人窒息而造成事故。属于这类的气体有C2 F6，CF4，SF6，CHF 3等。

（5）氧化性气体（Oxide Gas）：这类气体有较强的氧化性，一般同时具有其他特性，如毒性或腐蚀性等。属于这类的气体有ClF3 ，Cl2，NF3等。

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