置换新建管道 :依次开启放散点5 的火炬放散阀、X1-1,
缓慢开启X3 阀门控制压力和流速,直至检测合格后关闭调压
器进口阀门 ;打开放散点6 的火炬放散阀、X2-1,直至检测合
格后关闭调压器进口阀门,按程序拆除放散点5、6 处放散火炬
并***放散口原貌,完全开启X3 阀门。
置换在运支管 :对支管2 进行置换,依次开启放散点3 的
火炬放散阀、调压器进口阀门,管道氮气置换方案,缓慢开启ZF2 阀门控制压力和
流速,直至检测合格后关闭调压器进口阀门,管道氮气置换,按程序拆除放散
火炬并***放散口原貌,完全开启ZF2 阀门 ;同理对支管1 进
行置换。完成后,对碰口点、拆卸过的管件进行检漏,确认无泄
漏后方可***供气。
***供气
开启GF2、GF3、X1、X2 阀门,***并网后整个中压管网正
常供气 ;对调压器后的低压管网,严格按照低压系统***供气
程序进行***供气作业。
2.3.氮气置换范围:
(1)本次氮气置换范围为长度为2.5KM的管道。
(2)置换系统中涉及到所有管线和设备上的连通阀门打开。
(3)置换系统中涉及到的天ran气储罐、天ran气压缩机、天ran气汽化器、天ran气泵、稳压罐等及管道上的各仪表一次阀需打开一并置换。
(4)置换系统中以上涉及到的设备、管道上的排空阀和排污阀需关闭。
(1)性气体
把自燃、、可燃气体等都定义为这类气体。如常温下的SiH4气体只要与空气接触就会燃烧,当环境温度达到一定时,PH3与B2 H6等气体也会产生自燃。可燃气体都有一定的着火燃烧范围,即上限、下限值。此范围越大的气体起燃烧***性就越高,如B 2H6的上限为98%,下限为0.9%。属于气体有H 2,NH3,PH3,DCS,ClF3 。
(2)毒性气体(Toxic Gas):半导体制造行业中使用的气体很多都是对******、***的。其中又以AsH3, B 2H6,管道氮气置换,PH3等气体的毒性***大,它们的阈限值TLV(Threshold Limited Valve)分别只有50×10-9,100×10 -9,300×10-9。这些气体在工作环境中的允许浓度极微,因此在贮存、输送以及使用的过程中都要求特别的小心。一般都应该采取特定的技术措施来控制使用这些气体。NO, ***F6,C5F8 ,NF3,CH 3F等都属于毒性气体。
(3)腐蚀性气体(Corrosive Gas):这些腐蚀性气体通常同时也兼有较强的毒性。腐蚀性气体在干燥状态下一般不易侵蚀金属,但在遇到水的环境下就显示出很强的腐蚀性,如HCl, HF, PCl3, SiF4,ClF3,燃气管道氮气置换氧含量,WF6等。
(4)惰性气体(Inert Gas): 隋性气体本身一般不会直接对***产生伤害,在气体传输过程中,相对于安全上的要求不如以上其他气体严格。但惰性气体具有窒息特性,在密闭空间若发生泄漏会使人窒息而造成事故。属于这类的气体有C2 F6,CF4,SF6,CHF 3等。
(5)氧化性气体(Oxide Gas):这类气体有较强的氧化性,一般同时具有其他特性,如毒性或腐蚀性等。属于这类的气体有ClF3 ,Cl2,NF3等。
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