实验室气路安装设计规范

1.实验室的用气量、用气点以及使用的什么气体，

2.实验室的结构，

3.气体存储装置点，

4.用气实验台结构及规格形状

5.实验室所在建筑的结构。

6.管件及组件的选材，根据气体类别和实验室需求选择

实验室气路安装系统组成

主要由气源切换系统(一级减压系统)、管道及连接件系统、二级调压系统、气体过滤纯化系统、气体报警系统、压力表、球阀等组成。

***气体的特别事项
作为半导体晶圆代工厂气体的使用者，每一位工作人员都应该在使用前对各种***气体的安全数据加以了解，并且应该知道如何应对这些气体外泄时的紧急处理程序。一般来讲，我们将有三重保障来防范万一有意外发生的***气体外泄进入到工作环境中。一个是特种气体的气瓶以及全部经过正负压测漏的气体输送管路；第二个是持续不断的排气抽风系统（Exhaust），管路节点如气瓶柜、VMB、工作台等均具有很强排气抽风系统，以确保每一管路节点外围都处于负压环境。若发生微量的有***体的泄漏，排气抽风系统将******时间抽出；另外一个很重要的是处于抽风口或环境点的毒性气体侦测器系统，若发生任何有***体的泄漏将会被气体侦测系统所侦测到，这个控制系统将根据气体外泄对***危害的大小来确定整个气体输送系统的相关互锁动作，严重时紧急关闭上游所有气源，同时会驱动***控制室和现场的相关报警系统LAU，甚至会驱动全厂的自动语音广播系统通知立即疏散，管道氮气置换，要求相关人员迅速撤离报警区域。因此只要工程技术人员严格按照所制定的标准作业程序操作，所有这些安全装置都将确保人员不会有安全上的顾虑。

1）氮气置换液化气期间，控制高压氮气阀

组开度，严格控制各设备塔压，管道 氮气置换，防止设备超压。

2）氮气置换各设备内部液化气时，应逐个

置换，确保在置换期间液化气管线能够大流量贯

通氮气，保证置换效果。

3）在置换期间，应派专人紧盯现场液面计，

防止氮气过量至缓冲罐 D-501，造成 D-501 压力

偏高，燃气管道氮气置换，影响后续设备置换进度。

4）撤压时，应缓慢进行，控制撤压阀门开

度，防止氮气置换液化气后残留的液化气大量气

化，造成设备超压。

5）系统撤压完毕后，可投用各塔、罐底部

伴热，提高液化气挥发速度，减少设备内部液化

气残余量。

6）置换完毕向低瓦系统内撤压时，要缓慢

进行，防止冲击低瓦系统。

　环保分析

与水顶液化气法相比，氮气置换液化气方法

具有明显的环保优势，

氮气置换液化气的方法不但节约了 500 t 的

新鲜水，同时避免了 500 t 废碱性水的产生，以

及废碱性水带来的环保影响。

结　语

1）高压氮气置换液化气的工艺方法应用成

功，长输管道氮气置换，效果非常理想。不仅了碱性水的产

生以及排放问题，而且解决了因碱性水进入污水

处理场导致外排水不合格的情况，取得了较好的

环保效益。

2）高浓度的外排废碱性水处理费用约为

1 200 元 /t，通过氮气置换液化气的工艺方法，每

次检修可节省费用 60 万元，取得了较好的经济

效益。

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