***气体的特别事项
作为半导体晶圆代工厂气体的使用者，每一位工作人员都应该在使用前对各种***气体的安全数据加以了解，并且应该知道如何应对这些气体外泄时的紧急处理程序。一般来讲，我们将有三重保障来防范万一有意外发生的***气体外泄进入到工作环境中。一个是特种气体的气瓶以及全部经过正负压测漏的气体输送管路；第二个是持续不断的排气抽风系统（Exhaust），管路节点如气瓶柜、VMB、工作台等均具有很强排气抽风系统，以确保每一管路节点外围都处于负压环境。若发生微量的有***体的泄漏，排气抽风系统将******时间抽出；另外一个很重要的是处于抽风口或环境点的毒性气体侦测器系统，若发生任何有***体的泄漏将会被气体侦测系统所侦测到，这个控制系统将根据气体外泄对***危害的大小来确定整个气体输送系统的相关互锁动作，管道氮气置换，严重时紧急关闭上游所有气源，管道氮气置换方案，同时会驱动***控制室和现场的相关报警系统LAU，甚至会驱动全厂的自动语音广播系统通知立即疏散，管道氮气置换，要求相关人员迅速撤离报警区域。因此只要工程技术人员严格按照所制定的标准作业程序操作，所有这些安全装置都将确保人员不会有安全上的顾虑。
天燃气管道氮气置换过程中的安全性分析

注氮过程险的预防

为避免注氮过程中的风险，施工人员应首先将清管器置入

管道，继而逐渐排出管道中的氧气，打开出站阀门，注入

氮气。在此基础上，应采用以下手段对风险进行预防 ：(1) 人的

不安全行为预防 ：确定操作员工的精神状态及技能能力是否

满足工作需要。(2) 工艺检查 ：施工人员应于氮气置换前，对注

氮设备进行检查，判断设备连接是否完好，避免发生氮气***，

以免导致高浓度的氮气对施工人员的安全造成威胁。(3) 现场

工作环境检查，密闭环境或氮气容集聚的场加强通风，或采取

强制通风措施。(4) 应急措施到位 ：工作现场有相应的应急预案

并有与之对应的应急救援器材。

气体管件在安装时，施工原则是应尽可能地以连续式且无接口的方式进行，这样可以减少使用接头的数量，降低潜在的气体泄漏风险。管件与管件间的连接***好以轨道式焊接法（Orbital Welding）来接合，对于不锈钢的焊接要采用弧焊，并向施焊管内通入同等纯度的气，这样可以确保连接的品质，并防止管件内壁因不当的焊接而沉积碳，燃气管道氮气置换，从而造成气体管件的污染。管件与各种配件之间的连接必须以金属面对金属面密封（Metal to metal face seal）的方式进行。一般晶圆厂比较常用的气体管路连接的接头方式有VCR 和Swagelok两种，具体选用形式应根据生产工艺对高纯度气体的用气要求和气体本身特性进行选择。一般情况下，VCR式的接头主要用在制程气体以及***气体的传输上，管路连接后接头里面的垫圈（Gasket）将会适度变形以确保管路每秒低于10 -9cc的氦气泄漏率（Leakage Rate）。不过在接合时要避免因拴得太紧而导致不锈钢垫圈过度变形造成接合不良或气体外泄。Swagelok 接头通常用在惰性气体、氮气以及CDA等气体的传输上，因为这些气体可以容许一定的外泄率，所以不常用成本较高且须焊接的VCR式接头。总的来说，管件的安装原则是应尽可能减少管件的长度、接头和阀件的数量，因为大多数的***气体的泄漏都发生在施工不当的接头和阀件接合处。
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