实验室气路安装设计2

2、气瓶柜的技术要求为铝型35×35框架，柜门、侧板采用金属冷轧板，均用环氧树脂粉沫喷涂，内设可活动的气瓶抱箍，便于气瓶的更换和移动。地脚为不锈钢螺丝、尼龙罩盖、橡胶底座组合结构，可调节高度为0—0.3m。配置了气体泄漏报警、温度数字指示、气体***时自动排放。具有防爆、阻燃等功能。

3、实验室应按照房间大小比例设计相应数量带逆风阀的换气扇，使空气流通顺畅，保持清洁。每个房间都要设计带有过滤装置的通气孔，如果是带有室内走廊的房间也可在门窗上设百叶窗，尺寸按照排气量比例关系计算。

实验室气路安装5
气体管件在安装时，施工原则是应尽可能地以连续式且无接口的方式进行，长输管道氮气置换，这样可以减少使用接头的数量，降低潜在的气体泄漏风险。管件与管件间的连接***好以轨道式焊接法（Orbital Welding）来接合，对于不锈钢的焊接要采用弧焊，管道氮气置换方案，并向施焊管内通入同等纯度的气，这样可以确保连接的品质，并防止管件内壁因不当的焊接而沉积碳，从而造成气体管件的污染。管件与各种配件之间的连接必须以金属面对金属面密封（Metal to metal face seal）的方式进行。一般晶圆厂比较常用的气体管路连接的接头方式有VCR 和Swagelok两种，具体选用形式应根据生产工艺对高纯度气体的用气要求和气体本身特性进行选择。一般情况下，VCR式的接头主要用在制程气体以及***气体的传输上，管路连接后接头里面的垫圈（Gasket）将会适度变形以确保管路每秒低于10 -9cc的氦气泄漏率（Leakage Rate）。不过在接合时要避免因拴得太紧而导致不锈钢垫圈过度变形造成接合不良或气体外泄。Swagelok 接头通常用在惰性气体、氮气以及CDA等气体的传输上，因为这些气体可以容许一定的外泄率，所以不常用成本较高且须焊接的VCR式接头。总的来说，管件的安装原则是应尽可能减少管件的长度、接头和阀件的数量，因为大多数的***气体的泄漏都发生在施工不当的接头和阀件接合处。

职业健康安全

(1) 按行业规定穿戴防护用品，着棉质防静电工作服，管道氮气置换，不得

穿带钉子的鞋。

(2) 配备氧气呼吸器。

消防安全

施工作业现场须用警示带隔离并设置“禁止火源”、“禁止

吸烟”等安全标志，在警戒区内严禁烟火，禁止带入火种、手机，燃气管道氮气置换方案，

按规定配备足够灭火器材。

施工操作安全

(1) 提前对所有放散点进行踏勘，确保放散点与明火和散

发火花地点、民用建筑的距离分别不小于30m、25m，放散口应

高出地面2.5m 以上，并选择空旷平整地带安装稳固。

(2) 置换前，对管道及放散火炬做好接地处理。

(3) 置换进气端须安装压力表，检测压力。

(4) 确保注氮管线与注氮口、放散火炬与放散口连接可靠。

(5) 浓度检测设备应备两台，一台检测，另一台复检，避免

引起误判。

(6) 施工点位应保持通风 ；施工中应采用防爆型工器具 ；

工具轻拿轻放，防止碰撞产生火花。

(7) 严禁相通的天ran气管道同时进行2 个及以上开口( 含

切割口和放散管进行放散的开口) 的碰口作业 ；严禁作业时氮

气、空气进入调压器( 柜) 下游的低压天ran气管道系统。

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