储罐驴气干燥和置换基本原理
LNG 储罐 干燥和置换一般采用连续干燥及置换或是压涨式两种方法，前者是指在置换过程中以充入的氮气量与 排放 量保挎相同，使储罐在置换过程中保持罐内压力基本不变化。压涨 式是指先关闭罐的排放阀， 往罐 内 充 一 定压力的 氮气 ，断开充氮 ，打开饿的 排放阀 泄压 ，至一定压力 后再关闭 排放 ，打开氮气人 口充压 ，反复进行 此工作。Tl 203 储罐主要采用连续干燥及置换的方法进行施工。
实验室气路安装3

（1）性气体

把自燃、、可燃气体等都定义为这类气体。如常温下的SiH4气体只要与空气接触就会燃烧，当环境温度达到一定时，PH3与B2 H6等气体也会产生自燃。可燃气体都有一定的着火燃烧范围，即上限、下限值。此范围越大的气体起燃烧***性就越高，如B 2H6的上限为98%，下限为0.9%。属于气体有H 2，NH3，PH3，DCS，ClF3 。

（2）毒性气体（Toxic Gas）：半导体制造行业中使用的气体很多都是对******、***的。其中又以AsH3， B 2H6，PH3等气体的毒性***大，它们的阈限值TLV（Threshold Limited Valve）分别只有50×10-9，100×10 -9，300×10-9。这些气体在工作环境中的允许浓度极微，因此在贮存、输送以及使用的过程中都要求特别的小心。一般都应该采取特定的技术措施来控制使用这些气体。NO，管道氮气置换， ***F6，燃气管道氮气置换氧含量，C5F8 ，NF3，CH 3F等都属于毒性气体。

（3）腐蚀性气体（Corrosive Gas）：这些腐蚀性气体通常同时也兼有较强的毒性。腐蚀性气体在干燥状态下一般不易侵蚀金属，但在遇到水的环境下就显示出很强的腐蚀性，如HCl， HF，管道氮气置换， PCl3， SiF4，长输管道氮气置换，ClF3，WF6等。

（4）惰性气体(Inert Gas)： 隋性气体本身一般不会直接对***产生伤害，在气体传输过程中，相对于安全上的要求不如以上其他气体严格。但惰性气体具有窒息特性，在密闭空间若发生泄漏会使人窒息而造成事故。属于这类的气体有C2 F6，CF4，SF6，CHF 3等。

（5）氧化性气体（Oxide Gas）：这类气体有较强的氧化性，一般同时具有其他特性，如毒性或腐蚀性等。属于这类的气体有ClF3 ，Cl2，NF3等。

注氮过程险的预防

为避免注氮过程中的风险，施工人员应首先将清管器置入

管道，继而逐渐排出管道中的氧气，打开出站阀门，注入

氮气。在此基础上，应采用以下手段对风险进行预防 ：(1) 人的

不安全行为预防 ：确定操作员工的精神状态及技能能力是否

满足工作需要。(2) 工艺检查 ：施工人员应于氮气置换前，对注

氮设备进行检查，判断设备连接是否完好，避免发生氮气***，

以免导致高浓度的氮气对施工人员的安全造成威胁。(3) 现场

工作环境检查，密闭环境或氮气容集聚的场加强通风，或采取

强制通风措施。(4) 应急措施到位 ：工作现场有相应的应急预案

并有与之对应的应急救援器材。

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