2储罐系统干燥及置换施工准备
储罐系统及现场施工准备

干燥及置换前，与干燥及置换相 关的所有储罐系统应完工，且必须经各相关单位等联合检查，并签字确认。

(I） 储罐安装、罐内接管安装、保冷安装、珍珠岩填充、罐内接地、仪表回路等工作完成确认g

(2） 完成低压泵安 装工作，对储罐进行封闭确认：

(3） 安全阀 和破真 空阀 按规定调 校完 毕并上 报相关资料

其隔离阀锁开。

现场施工其它工作准备

(I） 现场确保储罐顶部 、楼梯和地面有充分照明以便夜间操作g

(2） 氮气干燥和l置换区域周围设置标志，禁止未 ***人员进入置换现场 z

(3） 所有阅门按氮气干燥和置换要求 挂牌标识状态，必要时上锁保 护。

临时液氮气化系统的安装准备

(I） 液氮储罐的安装，按一般静置 设备基本要求进行 ，保证设备的垂直度符合要求；

(2） 临时气化器、加热器安装s

3 ）临时 液氮气化系统管线安 装及与系统氮气相连管道安装；

(4） 整个临时系统管 线的压力试验符 合要求。

干燥和置换工艺流程及区域划分

工艺流程

液氮气化系统的安装→ l临时氨气管线安装→液氮气化→储罐 A 区置 换→储罐 B 区置换 →储罐 C 区 置换 →储罐 D 区 置换→储罐进行加减压干燥置换→干燥和置换合格确认

储罐内部置换区域划分

实验室气路安装3

（1）性气体

把自燃、、可燃气体等都定义为这类气体。如常温下的SiH4气体只要与空气接触就会燃烧，管道氮气置换，当环境温度达到一定时，管道氮气置换方案，PH3与B2 H6等气体也会产生自燃。可燃气体都有一定的着火燃烧范围，即上限、下限值。此范围越大的气体起燃烧***性就越高，如B 2H6的上限为98%，下限为0.9%。属于气体有H 2，NH3，PH3，DCS，ClF3 。

（2）毒性气体（Toxic Gas）：半导体制造行业中使用的气体很多都是对******、***的。其中又以AsH3， B 2H6，PH3等气体的毒性***大，它们的阈限值TLV（Threshold Limited Valve）分别只有50×10-9，100×10 -9，300×10-9。这些气体在工作环境中的允许浓度极微，因此在贮存、输送以及使用的过程中都要求特别的小心。一般都应该采取特定的技术措施来控制使用这些气体。NO， ***F6，C5F8 ，NF3，CH 3F等都属于毒性气体。

（3）腐蚀性气体（Corrosive Gas）：这些腐蚀性气体通常同时也兼有较强的毒性。腐蚀性气体在干燥状态下一般不易侵蚀金属，但在遇到水的环境下就显示出很强的腐蚀性，如HCl， HF， PCl3， SiF4，ClF3，WF6等。

（4）惰性气体(Inert Gas)： 隋性气体本身一般不会直接对***产生伤害，管道置换氮气，在气体传输过程中，相对于安全上的要求不如以上其他气体严格。但惰性气体具有窒息特性，在密闭空间若发生泄漏会使人窒息而造成事故。属于这类的气体有C2 F6，CF4，SF6，CHF 3等。

（5）氧化性气体（Oxide Gas）：这类气体有较强的氧化性，一般同时具有其他特性，如毒性或腐蚀性等。属于这类的气体有ClF3 ，Cl2，NF3等。

整 个输送系统必 须有高度的 气密性 和严格的沽净度 。 供气方式的选择 、 一个集 中 目前国 内还没有 区域性 的 管道供气方式， 除 自备 “ 空 分 ” 装 置 外 ， 大多 为商品 气、 诸如北 京 、 上 海 、 江 苏、 浙 江 的 一 些集成 电路厂越来越多地改用 液态 源集 中气 化供应 ，管道氮气置换， 据说在 公里范围 内有液态源 ， 还 是有使用的可取之 处 ， 然 而不论是 用 液态 还 是气态 ， 将贮存容器集 中输送为 好 ， 更有利于 安全管理、 两种选择 图 是上 无 十 四 厂 气站 直 接 向 各 车 间 供应 电子纯液氧 ， 液氮的系统流 程 图 。 第二种选择 ， 我们可 以参照 图 ， 它是贝 岭公司气站集 中供应 个 液氮液氧再经纯 化装置后 向工艺车间供应高纯氮 ， 高纯 氧的 系统流程图 。 、 三个方式丫夕、， 户 气站高纯气 使用点 关于管径和管路形式 气体输送系统的详细设计固然要以有关 技术规 程 和 安全 法 规为基 础 ， 进行 流量 估 算 ， 采用经济合理的流速 ， 考虑到使用压力和 管阻及输送距离 ， 确定合理的管径和管路形 式。 在上无 四 厂 ， 我们对多个生产车伺 ， 采 用在气站设 分气 缸 图 作 辐射 状安装 ， 各车间管径相 同， ***一路， 力避相互窜气干 扰 ， 保持工作 压 力 稳定 当 时设计 压 力 仅为 一 勺， 使用管理和维护方便 ， 而在贝岭‘ 公司全部管路成树枝状 延伸 ， 干 管统一为 一 个 口 径 支管 又 统 一 为 一 个 口 径 。
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